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[LEYBOLD 萊寶真空 油擴(kuò)散 擴(kuò)散泵 瓦里安 Varian DIP3000 DIP8000 DIP12000 DIP20000 DIP50000 蒸汽流真空]
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蒸汽流真空泵的工作原理
擴(kuò)散泵的運(yùn)行倚賴于泵油蒸汽,其主要部件有:
- 含有進(jìn)氣口和排氣口的冷卻泵體
- 噴嘴系統(tǒng)
- 泵油鍋
擴(kuò)散泵工作時(shí),油鍋內(nèi)泵油被加熱至氣化,油蒸汽被強(qiáng)迫通過泵內(nèi)噴嘴系統(tǒng)。噴嘴的特殊設(shè)計(jì)能將蒸汽加速至大于音速(拉瓦爾噴嘴),于是形成高速蒸汽噴射流,并被噴嘴以特定角度噴向泵體。蒸汽接觸冷泵體后,冷凝成液態(tài)泵油流回油鍋。擴(kuò)散泵和其它類型的蒸汽流真空泵的抽氣能力主要基于蒸汽噴射流對氣體的傳輸能力。被抽氣體在排氣口被充分壓縮后由前級泵抽出。
油擴(kuò)散泵
與其它的類型的蒸汽流真空泵相比,油鍋內(nèi)和蒸汽射流中的蒸汽密度是相當(dāng)?shù)偷模虼藲怏w分子幾乎可以全部擴(kuò)散進(jìn)入蒸汽射流中,而其中的絕大部分分子會被抽出。
擴(kuò)散泵的抽速(與進(jìn)氣口面積相關(guān))高而恒定, 在進(jìn)氣壓強(qiáng)約為10-3mbar(0.75×10-3Torr)至很低壓強(qiáng)范圍內(nèi),蒸汽射流不受真空室內(nèi)壓強(qiáng)變化的影響。
油擴(kuò)散泵的工作
前級真空
在任何情況下,擴(kuò)散泵都需配足夠大小的前級泵(見技術(shù)數(shù)據(jù)),前級真空泵的規(guī)格和類型取決于工作條件和所抽氣體量。
1.在10-4 mbar(0.75 x 10-4托)以上連續(xù)工作 — 抽大量氣體。
2.在10-4 mbar(0.75 x 10-4托)以下連續(xù)工作 — 抽較少量氣體。
使用擴(kuò)散泵時(shí),真空室必須通過閥(3)和粗抽線直接連到前級泵。先用前級泵
將真空室抽低至擴(kuò)散泵能正常切入的壓強(qiáng),如擴(kuò)散泵已準(zhǔn)備完畢,可打開高真
空閥(4)開始。真空室破,必須關(guān)閉前級真空閥(2)和高真空閥(4),擴(kuò)散泵維持在備用狀態(tài)。
抽速
任何一種泵的抽速都是指通過泵吸入口的體積流量。對于擴(kuò)散泵來說對輕氣體抽速比重氣體抽速大。
泵油返流
某些油分子脫離蒸汽噴射流且未能被冷卻的泵體捕集時(shí),就可能發(fā)生不希望的返流現(xiàn)象。油分子之間的碰撞和泵體的反射,使其可能向真空室方向運(yùn)動。
DIP擴(kuò)散泵的返油率僅為每分鐘每cm2進(jìn)氣口面積幾μg,加水冷帽或冷阱捕集后,幾乎可完全油返流。
擴(kuò)散泵的返油率
- 無水冷帽和冷阱
約 1 x 10-2 mg x cm-2 x min-1
- 加有水冷帽
約 1 x 10-3 mg x cm-2 x min-1
- 加有冷阱
(T = 10 °C (50 °F))
約 1 x 10-5 mg x cm-2 x min-1
以上數(shù)據(jù)是在進(jìn)口壓強(qiáng)<1×10-4 mbar以及LVO500條件下測定的。
可達(dá)到的極限壓強(qiáng)
真空系統(tǒng)可達(dá)到的極限壓強(qiáng)不僅與擴(kuò)散泵型號和額定抽速有關(guān),還與泵油蒸汽壓、冷阱的形狀和溫度、連接法蘭或焊接點(diǎn)的泄漏以及真空室內(nèi)表面狀況有關(guān)。
在了因泄漏和腔體內(nèi)壁臟造成的放氣影響后,它將能達(dá)到“概述”一節(jié)所給“油擴(kuò)散泵(DIP)可達(dá)到的極限壓強(qiáng)”表中所述值。
實(shí)際上,以下組合對于實(shí)現(xiàn)無返油的高真空有很好的效果。
- 集成了水冷帽的擴(kuò)散泵加配星形冷阱,水冷星形冷阱安裝在擴(kuò)散泵高真空法蘭上。
密封方式
對10-8 mbar (0.75 x 10-8 Torr)的極限壓強(qiáng)要求,烘烤溫度150 °C (302 °F)已足夠。須使用FPM ( FPM=氟橡膠,可耐150 °C (302 °F) 溫度 ) 密封圈或鋁制超級密封環(huán)。
為防止壓強(qiáng)的變化,擴(kuò)散泵與冷阱之間必須使用超級密封環(huán)。
低于10-8 mbar(0.75 x 10-8 Torr)的極限壓強(qiáng)則要求烘烤溫度高達(dá)400 °C ( 752 °F )。
實(shí)際上只須將真空室烘烤到400°C (752°F),而在冷阱上維持一個(gè)溫度梯度,使泵入口法蘭不超過150 °C (302 °F)。
在這種條件下,允許使用FPM密封環(huán)或鋁制超級密封環(huán)。
冷卻
冷卻進(jìn)水溫度不應(yīng)超過25 °C (77 °F),出水不應(yīng)大于30 °C (86 °F),否則不能保證泵油充分冷凝。當(dāng)串聯(lián)泵和冷阱的冷卻水回路時(shí),必須使冷卻水首先流過冷阱然后再流過擴(kuò)散泵,因?yàn)檎婵帐铱?/span>達(dá)到的極限壓強(qiáng)在很大程度上取決于冷阱上泵油的冷凝溫度。
DIP系列泵是為工業(yè)系統(tǒng)使用而開發(fā)的。的真空性能與這種泵固有的機(jī)械耐用性相結(jié)合,使萊寶的擴(kuò)散泵成為高和中真空領(lǐng)域的可靠設(shè)備。
供貨范圍
油擴(kuò)散泵在供貨時(shí)已具備連接條件,但沒充泵油。
交貨前泵內(nèi)部已擦洗干凈,無油且已抽空。高真空和前級真空法蘭已經(jīng)配裝有發(fā)運(yùn)法蘭,及所需配套之密封圈和中心定位環(huán)及全套緊固部件。
客戶得益
- 在高真空范圍內(nèi)具有很高抽速
- 可獲得很低的極限壓強(qiáng)
- 集成的水冷帽可確保向真空室極低的返油率
- 集成的水冷前級真空擋板確保低油耗(即使在高氣載下)
- 即便在減小加熱功率下仍具有高前級背壓
- 加熱棒在插入油鍋的加熱套管中,方便操作可快速更換(即使泵為熱態(tài))
- 每個(gè)加熱棒對應(yīng)單獨(dú)的自動斷路器,確保電氣高度安全
- 標(biāo)配超溫保護(hù)開關(guān)防止熱過載,保證加熱棒不會過熱
- 所有泵已預(yù)留位置,可安裝冷卻水過溫保護(hù)開關(guān)(備選件)以檢查冷卻水
回路,和觸點(diǎn)指針溫度計(jì)(備選件)以監(jiān)視擴(kuò)散泵工作溫度
- 通過油位視窗指示可檢查當(dāng)前油位
- 所有DIP泵交貨時(shí)其內(nèi)室潔凈無油并
抽空,方便加入所需泵油類型
- 可以選配能耗管理系統(tǒng),較大限度的節(jié)省擴(kuò)散泵的運(yùn)行成本。(部分型號適用
典型應(yīng)用
DIP系列擴(kuò)散泵可用于鍍膜系統(tǒng)、真空熔煉和干燥系統(tǒng)以及真空爐/熱處理
技術(shù)參數(shù) DIP 3 000 高真空/前級真空接口 DN 250 ISO-K / 63 ISO-K 低于 1 x 10-4 mbar時(shí)空氣的抽速 1) l x s-1 3 000 工作范圍 mbar (Torr) < 10-2至 10-7 (0.75 x 10-2至 0.75 x 10-7) 極限全壓強(qiáng) 1) mbar (Torr) < 5.0 x 10-7 (3.75 x 10-7) 允許的前級真空壓強(qiáng) mbar (Torr) 6.0 x 10-1 (4.5 x 10-1) 泵油加注量,低/高 l (qts) 1.0 / 1.4 (1.1 / 1.5) 電源連接標(biāo)準(zhǔn)歐標(biāo), 50/60 Hz 標(biāo)準(zhǔn)美標(biāo), 50/60 Hz 特殊, 50/60 Hz VVV 230 ~ 1 Ph 230 ~ 1 Ph – 加熱功率 kW 2 4 加熱棒數(shù)量 2 升溫時(shí)間 min < 25 冷卻水流量(低)泵 2)水冷帽 供水壓力 l x h-1(gal/min)l x h-1(gal/min)bar (psig) 160 (0 7) 20 (0 09) 6 (87) 冷卻回路數(shù)(包括水冷帽) 2 冷卻水接口泵 水冷帽 G (BPS)G (BPS) 3/8" 1/4" 重量(約) kg (lbs) 29 (64) 推薦的前級泵 3)工作壓強(qiáng) > 10-4mbar (> 0 75 x 10-4 Torr)工作壓強(qiáng) < 10-4 mbar (< 0 75 x 10-4 Torr) TRIVAC D 65 B + WAU 251 TRIVAC D 25B
技術(shù)參數(shù) DIP 8000 高真空/前級真空接口 DN 400 ISO-K / 63 ISO-K 低于 1 x 10-4 mbar時(shí)空氣的抽速 1) l x s-1 8 000 工作范圍 mbar (Torr) < 10-2至 10-7 (0.75 x 10-2至 0.75 x 10-7) 極限全壓強(qiáng) 1) mbar (Torr) < 5.0 x 10-7 (3.75 x 10-7) 允許的前級真空壓強(qiáng) mbar (Torr) 6.0 x 10-1 (4.5 x 10-1) 泵油加注量,低/高 l (qts) 1.7 / 3.4 (1.8 / 3.6) 電源連接標(biāo)準(zhǔn)歐標(biāo), 50/60 Hz 標(biāo)準(zhǔn)美標(biāo), 50/60 Hz 特殊, 50/60 Hz VVV 400 ~ 3 Ph Y 460 ~ 3 Ph Y 230 ~ 3 Ph Δ 加熱功率 kW 4 8 加熱棒數(shù)量 6 升溫時(shí)間 min < 25 冷卻水流量(低)泵 2)水冷帽 供水壓力 l x h-1(gal/min)l x h-1(gal/min)bar (psig) 290 (1.28) 30 (0.13) 6 (87) 冷卻回路數(shù)(包括水冷帽) 2 冷卻水接口泵 水冷帽 G (BPS)G (BPS) 1/2" 3/8" 重量(約) kg (lbs) 70 (154) 推薦的前級泵 3)工作壓強(qiáng) > 10-4mbar (> 0 75 x 10-4 Torr)工作壓強(qiáng) < 10-4 mbar (< 0 75 x 10-4 Torr) DK 200 + WAU 251 TRIVAC D 65 B + WAU 251
技術(shù)參數(shù) 高真空/前級真空接口 DN 500 ISO-K / 100 ISO-K 低于 1 x 10-4 mbar時(shí)空氣的抽速 1) l x s-1 12 000 工作范圍 mbar (Torr) < 10-2至 10-7 (0.75 x 10-2至 0.75 x 10-7) 極限全壓強(qiáng) 1) mbar (Torr) < 5.0 x 10-7 (3.75 x 10-7) 允許的前級真空壓強(qiáng) mbar (Torr) 6.0 x 10-1 (4.5 x 10-1) 泵油加注量,低/高 l (qts) 2.4 / 5.3 (2.5 / 5.6) 電源連接標(biāo)準(zhǔn)歐標(biāo), 50/60 Hz 標(biāo)準(zhǔn)美標(biāo), 50/60 Hz 特殊, 50/60 Hz VVV 400 ~ 3 Ph Y 460 ~ 3 Ph Y 230 ~ 3 Ph Δ 加熱功率 kW 7 2 加熱棒數(shù)量 9 升溫時(shí)間 min < 25 冷卻水流量(低)泵 2) 水冷帽 供水壓力 l x h-1(gal/min)l x h-1(gal/min)bar (psig) 500 (2.2) 50 (0.22) 6 (87) 冷卻回路數(shù)(包括水冷帽) 2 冷卻水接口泵 水冷帽 G (BPS)G (BPS) 1/2" 3/8" 重量(約) kg (lbs) 102 (225) 推薦的前級泵 3)工作壓強(qiáng) > 10-4mbar (> 0 75 x 10-4 Torr)工作壓強(qiáng) < 10-4 mbar (< 0 75 x 10-4 Torr) DK 200 + WAU 501 TRIVAC D 65 B + WAU 251
DIP12000
技術(shù)參數(shù) DIP 20 000 高真空/前級真空接口 DN 630 ISO-F / 100 ISO-K 低于 1 x 10-4 mbar時(shí)空氣的抽速 1) l x s-1 20 000 工作范圍 mbar (Torr) < 10-2至 10-7 (0.75 x 10-2至 0.75 x 10-7) 極限全壓強(qiáng) 1) mbar (Torr) < 5.0 x 10-7 (3.75 x 10-7) 允許的前級真空壓強(qiáng) mbar (Torr) 6.0 x 10-1 (4.5 x 10-1) 泵油加注量,低/高 l (qts) 6.0 / 9 0 (6.3 / 9 5) 電源連接標(biāo)準(zhǔn)歐標(biāo), 50/60 Hz 標(biāo)準(zhǔn)美標(biāo), 50/60 Hz 特殊, 50/60 Hz VVV 400 ~ 3 Ph Y 460 ~ 3 Ph Y 230 ~ 3 Ph Δ 加熱功率 kW 12 加熱棒數(shù)量 12 升溫時(shí)間 min < 25 冷卻水(低)泵 2) 水冷帽 供水壓力 l x h-1(gal/min)l x h-1(gal/min)bar (psig) 600 (2 6) 60 (0 26) 6 (87) 冷卻回路數(shù)(包括水冷帽) 2 冷卻水接口泵 水冷帽 G (BPS)G (BPS) 1/2" 3/8" 重量(約) kg (lbs) 172 (379) 推薦的前級泵 3)工作壓強(qiáng) > 10-4mbar (> 0 75 x 10-4 Torr)工作壓強(qiáng) < 10-4 mbar (< 0 75 x 10-4 Torr) SV 200 + WAU 501 TRIVAC D 65 B + WAU 251
技術(shù)參數(shù) DIP 30 000 高真空/前級真空接口 DN 800 ISO-F / 160 ISO-K 低于 1 x 10-4 mbar時(shí)空氣的抽速 1) l x s-1 30 000 工作范圍 mbar (Torr) < 10-2至 10-7 (0.75 x 10-2至 0.75 x 10-7) 極限全壓強(qiáng) 1) mbar (Torr) < 5.0 x 10-7 (3.75 x 10-7) 允許的前級真空壓強(qiáng) mbar (Torr) 6.0 x 10-1 (4.5 x 10-1) 泵油加注量,低/高 l (qts) 7.0 / 15 0 (7.4 / 15 9) 電源連接標(biāo)準(zhǔn)歐標(biāo), 50/60 Hz 標(biāo)準(zhǔn)美標(biāo), 50/60 Hz 特殊, 50/60 Hz VVV 400 ~ 3 Ph Y 460 ~ 3 Ph Y 230 ~ 3 Ph Δ 加熱功率 kW 18 加熱棒數(shù)量 18 升溫時(shí)間 min < 30 冷卻水(低)泵 2) 水冷帽 供水壓力 l x h-1(gal/min)l x h-1(gal/min)bar (psig) 900 (4 0) 80 (0 35) 6 (87) 冷卻回路數(shù)(包括水冷帽) 3 冷卻水接口泵 水冷帽 G (BPS)G (BPS) 1/2" 3/8" 重量(約) kg (lbs) 296 (653) 推薦的前級泵 3)工作壓強(qiáng) > 10-4mbar (> 0 75 x 10-4 Torr)工作壓強(qiáng) < 10-4 mbar (< 0 75 x 10-4 Torr) SV 300 + WAU 1001 DK 200 + WAU 251
技術(shù)參數(shù) DIP50000
| 高真空/前級真空接口 | DN | 1000 ISO-F / 160 ISO-K |
| 低于 1 x 10-4mbar時(shí)空氣的抽速 1) | l x s-1 | 50 000 |
| 工作范圍 | mbar (Torr) | < 10-2至 10-7 (0.75 x 10-2至 0 75 x 10-7) |
| 極限全壓強(qiáng) 1) | mbar (Torr) | < 5.0 x 10-7 (3.75 x 10-7) |
| 允許的前級真空壓強(qiáng) | mbar (Torr) | 6.0 x 10-1 (4.5 x 10-1) |
| 泵油加注量,低/高 | l (qts) | 12.0 / 25 0 (12.7 / 26 4) |
| 電源連接標(biāo)準(zhǔn)歐標(biāo), 50/60 Hz 標(biāo)準(zhǔn)美標(biāo), 50/60 Hz 特殊, 50/60 Hz | VVV | 400 ~ 3 Ph Y 460 ~ 3 Ph Y 230 ~ 3 Ph Δ |
| 加熱功率 | kW | 24 |
| 加熱棒數(shù)量 | | 24 |
| 升溫時(shí)間 | min | < 30 |
| 冷卻水(低)泵 2) 水冷帽 供水壓力 | l x h-1(gal/min)l x h-1 (gal/min)bar (psig) | 1500 (6 6) 150 (0 66) 6 (87) |
| 冷卻回路數(shù)(包括水冷帽) | | 3 |
| 冷卻水接口泵 水冷帽 | G (BPS)G (BPS) | 1/2" 3/8" |
| 重量(約) | kg (lbs) | 560 (1235) |
| 推薦的前級泵 3)工作壓強(qiáng) > 10-4 mbar (> 0 75 x 10-4 Torr)工作壓強(qiáng) < 10-4 mbar (< 0 75 x 10-4 Torr) | SV 630 B + WAU 2001 DK 200 + WAU 501 | |
自1972年發(fā)展至今,深圳高志自動機(jī)電有限公司(自動工程有限公司)已成為一間享負(fù)盛名的真空泵、壓縮機(jī)、鼓風(fēng)機(jī)、氣動馬達(dá)、真空系統(tǒng)及各類氣動配件的供應(yīng)商。
深圳高志自動機(jī)電有限公司華西辦專業(yè)從事各品牌的銷售;如美國WALKERS、德國BECKER、德國LEYBOLD、美國GAST、日本FUJI及日本ANLET等,亦特別為客戶量身訂做之一系列高質(zhì)素及精心研制的系統(tǒng),其中包括中央真空系統(tǒng)。這些品牌在氣動技術(shù)領(lǐng)域皆處於性地位 , 其產(chǎn)品廣泛地應(yīng)用於電子、醫(yī)療、化學(xué)、食品包裝、印刷、鞋類機(jī)械制造、金屬洗濯、塑膠真空脫泡、污水處理等行業(yè)。本公司同時(shí)供應(yīng)不同國家的氣動配件,如美國的ALLENAIR 、英國的MAXAM 、臺灣的MINDMAN 及日本的HORI等。除產(chǎn)品銷售外,本公司也提供相關(guān)配件及維修保養(yǎng)和技術(shù)支援等服務(wù)。為能對客戶提供最快捷的服務(wù),本公司已在中國國內(nèi)數(shù)個(gè)主要城市開設(shè)有服務(wù)點(diǎn),其中包括深圳、無錫、成都、廣州、上海、天津及濟(jì)南等。從事氣動行業(yè)超過30年,自動工程有限公司無論在提供優(yōu)質(zhì)服務(wù)及技術(shù)支援等方面都能滿足客戶之要求,并因此確立了其在行業(yè)上之地位及聲譽(yù)。
我公司提供真空泵,氣動馬達(dá),漩渦風(fēng)機(jī),螺桿真空泵,無油活塞泵,水環(huán)泵,中央真空系統(tǒng),品牌包括WALKERS,Agilent ,BUSCH,GAST,FUJI,BECKER, Oerlikon LEYBOLD, Rietschle Thomas,Pfeiffer Vacuum, Edwards Vacuum ,KAWAKE,SULLAIR,ST等
自1972年發(fā)展至今,深圳高志自動機(jī)電有限公司(自動工程有限公司)已成為一間享負(fù)盛名的真空泵、壓縮機(jī)、鼓風(fēng)機(jī)、氣動馬達(dá)、真空系統(tǒng)及各類配件的供貨商。
本公司專業(yè)從事*品牌的銷售,如
美國的威斯(WALKERS)
德國的萊寶 ( OERLIKON LEYBOLD )、
美國的泰悉爾/凱尼 ( TUTHILL / KINNEY )、
美國的嘉仕達(dá) ( GAST )、
美國的安捷倫(Agilent)
丹麥的JUN-AIR、
德國的壽力 ( SULLAIR )、
德國的貝克 ( BECKER )、
韓國的KOWEL、
英國的 Allenair
日本的富士 ( FUJI ) 、
日本的HORI
香港的是高的 ( ScoreTech )等,
亦特別為客戶量身訂做之一系列高質(zhì)素及精心研制的系統(tǒng),其中包括中央真空系統(tǒng)。這些品牌在真空技術(shù)領(lǐng)域皆處于性地位,其產(chǎn)品廣泛地應(yīng)用于電子、醫(yī)療、化學(xué)、食品包裝、印刷、濾油、儀器、覆模、鞋類機(jī)械制造、金屬洗濯、塑料真空脫泡、污水處理等行業(yè)。
除產(chǎn)品銷售外,本公司也提供相關(guān)配件及維修保養(yǎng)、系統(tǒng)工程和技術(shù)支持等服務(wù)。為能對客戶提供最快捷的服務(wù),本公司已在中國數(shù)個(gè)主要城市開設(shè)銷售及維修服務(wù)辦事處,其中包括深圳、廣州、成都、重慶、合肥、上海、天津及沈陽。從事真空行業(yè)超過30年,自動工程有限公司無論在提供優(yōu)質(zhì)優(yōu)化服務(wù)及技術(shù)支持等方面都能滿足客戶之要求,并因此確立了其在行業(yè)上之地位及聲譽(yù)。
注冊資金:100萬以下
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