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產(chǎn)品詳情 F2000系列MEMS皮拉尼真空傳感器提供了一個突破性的真空測量方案。該傳感器外形微小,同時又具有超低功耗,長壽命,低現(xiàn)場維護(hù),和低成本的優(yōu)點。 該加熱元件(即測量電阻)是由一個置于一張隔熱膜上的鉑薄膜電阻構(gòu)成。隔熱膜懸覆在一個微加工的25祄深空腔上,空腔底部表面與隔熱膜平行,以確保精密測量傳熱率。由于被測氣體體積極小(即空腔容積?。?,能夠提供超低的功耗和快速的響應(yīng)時間。 傳感器特點 超低功耗<5毫瓦 快速響應(yīng)時間<5毫秒 耐沖擊至1000g 可測量氣體體積至0.1 cm3 低噪聲 高分辨率 同一芯片上進(jìn)行溫度傳感 長期穩(wěn)定 可用浸泡清 主要應(yīng)用 分析儀器 使用前級真空的封閉系統(tǒng)的檢漏 半導(dǎo)體設(shè)備 真空包裝機(jī) 便攜式數(shù)字真空計 小型機(jī)械系統(tǒng)(如泵)以達(dá)到規(guī)定的真空度 低成本真空開關(guān)來驗證1托以下的真空度 技術(shù)指標(biāo) 工作溫度:-40 °C至125°C (可提供更高溫度型號) 濕度:0到RH,非冷凝 耐沖擊性:1000g 超壓:27.5Bar
紅外氣體傳感器 電化學(xué)氣體傳感器 熱線型氣體傳感器 熱傳導(dǎo)式氣體傳感器 氣體傳感器 平面半導(dǎo)體氣體傳感器 半導(dǎo)體氣體傳感器 催化燃燒式氣體傳感器
注冊資金:5000萬以上
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