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一體化研磨清洗廢水處理設備:研磨廢水處理工藝: 1、 含氟廢水處理系統(tǒng):包含高氟廢水預處理系統(tǒng)和低氟廢水處理系統(tǒng)。項目蝕刻槽定期倒槽產(chǎn)生的高濃度氟廢水等物質(zhì),主要污染物為pH、COD、BOD5、F-、Cl-、SS等。預處理后的高濃度含氟廢水與低濃度含氟廢水一同排入低氟廢水處理系統(tǒng)處理。低濃度含氟廢水主要源自蝕刻減薄線的清洗工序, 含氟廢水處理系統(tǒng)工藝流程: 高濃度含氟廢水收集池→高氟廢水自吸泵→高氟廢水混凝槽→高氟廢水沉淀池→低濃度含氟廢水收集池→低氟廢水自吸泵→低氟廢水混凝槽→低氟廢水沉淀池→中和反應池→排放 2、一般廢水終中和處理系統(tǒng)。清洗廢水主要來源于前清洗、拋光后清洗工序,廢水中含有清洗劑,主要污染物為pH、COD、BOD5、SS、LAS等;反洗水就是純水系統(tǒng)反洗介質(zhì)過濾器和活性炭過濾器排水,主要含原自來水中的離子(鹽類)和SS;冷卻塔循環(huán)水排水主要成份為自來水中濃縮的鹽類、SS。項目清洗工序產(chǎn)生的一般清洗廢水,純水制備工序產(chǎn)生的反沖洗廢水和冷卻塔排水,水質(zhì)均較清潔,均直接排入終中和系統(tǒng)處理。 采用中和法根據(jù)廢水水質(zhì)情況自動投入酸或堿液,在強力攪拌下進行混合、反應,廢水經(jīng)處理達到排放標準后排放。如果水質(zhì)達不到排放標準,再返回各處理系統(tǒng)進行二次處理。 一般廢水終中和處理系統(tǒng)工藝流程: PH調(diào)節(jié)加藥┐ 中和處理系統(tǒng)廢水收集及反應池→排放池 3、懸浮物廢水處理系統(tǒng)。本廢水主要來源于拋光工序,廢水中含有少量拋光粉(主要成分為氧化鈰),主要污染物為SS。本設計采用新型TMF管式微濾固液分離膜系統(tǒng)進行懸浮物廢水處理。該固液分離工藝成熟穩(wěn)定(已有多年成功運行工程案例)、具有針對性強、效果顯著,運行成本低,自動控制、穩(wěn)定、可靠,操作及檢修方便等特點。選用美國POREX公司的廢水管式微濾膜,PVDF膜材質(zhì),、耐強酸堿、清洗方便。POREX微濾膜采用特殊工藝制造,表面平整光滑、微孔率高,可在100*的沖擊壓力下正常運行,不會出現(xiàn)濾膜破裂、顆粒穿透現(xiàn)象,使用壽命可達5年以上。
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