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[oc負型光刻膠 OC光刻膠 負型光阻劑]
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1.材料組分
| | Brthrper-751A |
耐高溫高分子樹脂 | 高顯影型丙烯酸低聚物 |
齊化交聯(lián)樹脂 | 聚氨酯-丙烯酸交聯(lián)劑 |
光引發(fā)劑 | 自由基型光化合物 |
助劑 | 流平劑、附著力促進劑、消泡劑等 |
| | PGMEA、PM、EEP |
|
| Brthrper-751A |
| Coating | Slit or spin |
| Drying | VCD(30-70pa) |
| Pre-Bake | Temp:110-120℃,Time:120sec |
| Exp | Energy:200-300mj/cm2(i-Line),gap:200um |
| Developement | 0.045%KOH,Time:50-60sec,Temp:25℃ |
| Cure | Temp:230-240℃,Time:30min |
| | Brthrper-751A | ||
外觀及特征 | 固含量 | 22%±0.5 | |
粘度 | 5.5cp±0.1 | ||
外觀 | 微黃色透明液體 | ||
比重 | 0.96 | ||
黃光工藝后特性 | 膜存率 | 88%(后烘膜厚/顯影膜厚) | |
透過率(400nm,2um) | 99% | ||
折射率(550nm) | 1.54 | ||
表面電阻 | >1014Ω/□ | ||
表面硬度(鉛筆硬度計750g,三菱鉛筆) | 4H | ||
附著 | On glass | 5B | |
On ITO | 5B | ||
On MAM | 5B | ||
爬坡角度(Profile) | <30°(實測25°) | ||
| | Brthrper-751A | |
耐超聲清洗(30kHz/50℃/10min) | Glass | 5B |
ITO | 5B | |
MAM | 5B | |
耐王.水(42℃/3min) | Glass | 5B |
ITO | 5B | |
MAM | 5B | |
耐堿(4.5%KOH,45℃/5min) | Glass | 5B |
ITO | 5B | |
MAM | 5B | |
耐(丙.酮、NMP、IPA、,Time:30min) | Glass | 5B |
ITO | 5B | |
MAM | 5B | |
高溫高濕(60℃,90RH,Time:480h) | Glass | 5B |
ITO | 5B | |
MAM | 5B | |
如接到使用方技術(shù)服務(wù)請求后48小時內(nèi),將用電話、傳真、E-mail提供解決方案或派人前往協(xié)助解決。
邦得凌公司于2018年11月成立,是國內(nèi)專注于開發(fā)負型光阻劑的專業(yè)高科技公司,并吸收日本特種感光高分子功能材料技術(shù)而來。
公司核心團隊于2006年從事各類負型光刻膠/光阻劑(Nagtive Photo Rresist)及相應(yīng)納米復(fù)合材料開發(fā),擁有對該類材料的豐富定制化經(jīng)驗,并對負型類光刻膠與光刻制程之間的工藝銜接關(guān)系把握準確。
國內(nèi)唯.一擁有負型光刻膠用黃光樹脂(Binder Polymer)量產(chǎn)化技術(shù)的高分子材料設(shè)計與開發(fā)團隊。
注冊資金:100萬-500萬
聯(lián)系人:楊先生
固話:
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企業(yè)地址:廣東 深圳市 南山區(qū)