hakuto 離子刻蝕機(jī)運(yùn)用于 PDMS 軟刻蝕用母模板研究

西南某高校在 PDMS 軟刻蝕用母模板研究中有采用到伯東 Hakuto 離子蝕刻機(jī) 7.5IBE . ? Hakuto 離子蝕刻機(jī) 7.5IBE 技術(shù)規(guī)格: 真空腔 1 set, 主體不銹鋼,水冷 基片尺寸 1 set, 4”/6”? Stage, 直接冷卻, 離子源 ? 8cm 考夫曼離子源 KDC75 離子束入射角 0 Degree～± 90 Degree 極限真空 ≦1x10-4 Pa 刻蝕性能 一致性: ≤±5% across 4” 該 Hakuto 離子刻蝕機(jī) 7.5IBE 的核心構(gòu)件離子源是配伯東公司代理美國(guó)考夫曼博士創(chuàng)立的 KRI考夫曼公司的考夫曼離子源 KDC 75 伯東美國(guó) KRI 考夫曼離子源 KDC75 技術(shù)參數(shù)： 離子源型號(hào) 離子源 KDC 75 Discharge DC 熱離子 離子束流 >250 mA 離子動(dòng)能 100-1200 V 柵極直徑 7.5 cm Φ 離子束 聚焦, 平行, 散射 流量 2-15 sccm 通氣 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 典型壓力 < 0.5m Torr 長(zhǎng)度 20.1 cm 直徑 14 cm 中和器 燈絲 采用伯東 Hakuto 離子刻蝕機(jī) 7.5IBE 刻蝕加工軟刻蝕母模板具有操作步驟簡(jiǎn)單, 制備周期短的特點(diǎn), 是一種有效的制備軟刻蝕母模板的設(shè)備 若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論 , 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式 : 上海伯東 : 羅先生 臺(tái)灣伯東 : 王小姐 T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161 F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049 M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958 ec@hakuto-vacuum.cn ec@hakuto.com.tw www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw 伯東版權(quán)所有, 翻拷必究!