價(jià)格: 電議
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磨盤(pán),也稱(chēng)為磨片,是旋轉(zhuǎn)工作的摩擦元件。
是半導(dǎo)體行業(yè)中超大規(guī)模集成電路用硅片生產(chǎn)的重要工藝裝備。通常使用的鑄鐵或碳鋼研磨盤(pán)其使用壽命低,熱膨脹系數(shù)大。在加工硅片過(guò)程中,特別是高速研磨或拋光時(shí),由于研磨盤(pán)的磨損和熱變形,使硅片的平面度和平行度難以保證。采用碳化硅陶瓷的研磨盤(pán)由于硬度高研磨盤(pán)的磨損小,且熱膨脹系數(shù)與硅片基本相同因而可以高速研磨、拋光。特別是近幾年來(lái)的硅片尺寸越來(lái)越大,對(duì)硅片研磨的質(zhì)量和效率提出了更高的要求。碳化硅陶瓷研磨盤(pán)的使用將使硅片研磨的質(zhì)量和效率有很大的提高。同時(shí)碳化硅陶瓷研磨盤(pán)還可用于研磨、拋光其它材料的片狀或塊狀物體的平面。
注冊(cè)資金:100萬(wàn)-500萬(wàn)
聯(lián)系人:宋經(jīng)理
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企業(yè)地址:河南 鄭州市 中原區(qū)