超聲波光刻膠噴涂系統(tǒng) 高覆蓋率超聲波光刻膠噴涂系統(tǒng)
[桌面式噴涂
霧化噴涂機芯
光刻膠噴涂機]
杭州市噴涂系統(tǒng)廠家
價格： 電議
物流： 浙江 杭州市 富陽區(qū)| 賣家支付運費
可銷售總量： 100件
手機： 13738015913 郵箱： hzfsn@foxmail.com
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[桌面式噴涂 霧化噴涂機芯 光刻膠噴涂機]
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- 品牌： 其他
- 型號： FS620
- 加工定制： 是
- 動力形式： 電動式無氣噴涂機
- 種類： 空氣噴涂機
- 適用范圍： 工業(yè)用
- 最大輸出壓力： 220v
- 規(guī)格： FS620
- 噴頭類型： 桌面型
介紹：
在傳統(tǒng)的高速旋涂無法提供均勻覆蓋深孔形貌或高縱橫比的應用中，超聲波光刻膠噴涂系統(tǒng)用均勻的光刻膠薄膜涂覆半導體成為了完整的解決方案。與傳統(tǒng)的旋涂相比，采用超聲波噴涂的光致抗蝕劑涂層在沉積更均勻的涂層方面具有優(yōu)勢，特別是在高深寬比溝槽和v形槽結構中沿側壁頂部沉積時，離心旋涂無法沉積均勻的涂層沿著側壁形成膜，而沒有過多的光致抗蝕劑沉積在腔體的底部。事實證明，使用超聲技術進行直接噴涂是將光刻膠沉積到3D微結構上的可靠且有效的方法，從而減少了因金屬過度暴露于抗蝕劑涂層而導致的設備故障。
組成：
整機由超聲波霧化噴嘴，驅動電源，XYZ三軸聯動伺服系統(tǒng)，智能化操作系統(tǒng)，液體供給系統(tǒng)，低速空氣整形裝置，外殼箱體等組成。
優(yōu)勢：
- 各種表面輪廓的高均勻薄膜覆蓋率。
- 能夠以高均勻度涂覆高深寬比的溝槽。
- 無堵塞的霧化噴涂。
- 能夠以高均勻度沉積薄的單微米層。
- 經過驗證的可重復噴涂工藝。
應用：
用于具有不同形貌的MEMS晶片和其他基板。
服務：
我們提供用于霧化噴涂的各種超聲波處理器。我們也隨時為您提供滿意的加工定制服務并為您提出蕞佳解決方案。
杭州泛索能超聲科技有限公司
注冊資金：100萬-500萬
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企業(yè)地址：浙江 杭州市 富陽區(qū)
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