價格: 電議
物流: 浙江 杭州市 富陽區(qū)| 賣家支付運費
可銷售總量: 100件
手機: 13738015913 郵箱: hzfsn@foxmail.com
傳真: 0571-63325803 地址: 浙江 杭州市
[桌面式噴涂 霧化噴涂機芯 光刻膠噴涂機]
郵箱:
手機:
介紹:
在傳統(tǒng)的高速旋涂無法提供均勻覆蓋深孔形貌或高縱橫比的應用中,超聲波光刻膠噴涂系統(tǒng)用均勻的光刻膠薄膜涂覆半導體成為了完整的解決方案。與傳統(tǒng)的旋涂相比,采用超聲波噴涂的光致抗蝕劑涂層在沉積更均勻的涂層方面具有優(yōu)勢,特別是在高深寬比溝槽和v形槽結構中沿側壁頂部沉積時,離心旋涂無法沉積均勻的涂層沿著側壁形成膜,而沒有過多的光致抗蝕劑沉積在腔體的底部。事實證明,使用超聲技術進行直接噴涂是將光刻膠沉積到3D微結構上的可靠且有效的方法,從而減少了因金屬過度暴露于抗蝕劑涂層而導致的設備故障。

組成:
整機由超聲波霧化噴嘴,驅動電源,XYZ三軸聯動伺服系統(tǒng),智能化操作系統(tǒng),液體供給系統(tǒng),低速空氣整形裝置,外殼箱體等組成。
優(yōu)勢:
應用:
用于具有不同形貌的MEMS晶片和其他基板。
服務:
我們提供用于霧化噴涂的各種超聲波處理器。我們也隨時為您提供滿意的加工定制服務并為您提出蕞佳解決方案。