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柔性銦錫氧化物薄膜高度透明,具有觸覺響應(yīng)性和導(dǎo)電性的特點(diǎn)。鎢靶材是氧化鎢薄膜在半導(dǎo)體器件實(shí)現(xiàn)其功能過渡的重要基體。鎢熔點(diǎn)很高,所以制造鎢靶材的核心就是燒結(jié)技術(shù),燒結(jié)技術(shù)工藝決定了產(chǎn)品質(zhì)量。由于對(duì)濺射鎢靶材的尺寸要求越來(lái)越大。如果跟不上,那半導(dǎo)體制造企業(yè)的生產(chǎn)成本和工藝也就沒有競(jìng)爭(zhēng)力,之前應(yīng)用于芯片制造領(lǐng)域的鎢靶材,掌握相關(guān)制造技術(shù)的只有美國(guó)、日本等幾家公司。鎢靶材在半導(dǎo)體領(lǐng)域半導(dǎo)體集成電路對(duì)靶材的純度有著很高的要求。制造鎢靶材的大致過程就是先按配比進(jìn)行用粉末混合,再經(jīng)高溫?zé)Y(jié)成形??此坪?jiǎn)單的過程其制造技術(shù)細(xì)節(jié)卻旁枝錯(cuò)節(jié)般復(fù)雜,各種參數(shù)控制要求極高,差之毫厘。失之千里。這些年隨著我國(guó)的重視,領(lǐng)域的靶材制造水平有了不小的進(jìn)步。技術(shù)越來(lái)越多,但唯獨(dú)用于大規(guī)模集成電路芯片制造的金屬靶材仍受制于人。如何制造大尺寸靶材的問題。 旋轉(zhuǎn)鈮靶 Rotatable Nb target 應(yīng)用:廣泛用于光學(xué)玻璃,觸摸屏之AR膜系,Low-E玻璃膜系 產(chǎn)品化學(xué)成分和物理性能: 化學(xué)式:Nb
注冊(cè)資金:1000萬(wàn)-5000萬(wàn)
聯(lián)系人:楊永添
固話:020-22968888
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