英國(guó)密析爾 PURA 高純氮?dú)饴饵c(diǎn)傳感器
亮點(diǎn)
應(yīng)用
? 測(cè)量范圍低可達(dá)-120°Cdp (1ppbV)
?
高純氣
? 穩(wěn)定而可重復(fù)的測(cè)量
?
半導(dǎo)體制造
? 模擬和數(shù)字輸出
?
光纖生產(chǎn)
?
安裝簡(jiǎn)單
?
電子元件制造
?
VCR 過(guò)程連接
快速響應(yīng)
高純氣體微量露點(diǎn)變送器
在許多高純氣體的應(yīng)用中,如半導(dǎo)體行業(yè),氣體的殘留水分
對(duì)于工藝操作的影響是至關(guān)重要。
根據(jù)以往的經(jīng)驗(yàn),微量水分測(cè)量一直是一個(gè)難題,這需要
使用復(fù)雜或昂貴的分析儀測(cè)量?,F(xiàn)在,密析爾推出了一款
簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì)的產(chǎn)品,可以在線測(cè)量露點(diǎn)達(dá)-120°C (小于
1ppb)。
Pura 露點(diǎn)變送器的優(yōu)勢(shì)在于密析爾阻抗傳感器生產(chǎn)和校準(zhǔn)
的經(jīng)驗(yàn)和專長(zhǎng)。工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)材料和制造工藝結(jié)合的低成本變送
器,適用于大規(guī)模集成半導(dǎo)體制造廠或高純氣體管線中。
使用簡(jiǎn)單
這種獨(dú)立的變送器設(shè)計(jì)成可無(wú)縫接入純氣的過(guò)程應(yīng)用
中,并可提供可靠的測(cè)量結(jié)果。
Pura 的傳感器外殼是由冷拉不銹鋼制成,內(nèi)部采用 0.25Ra
μm 電拋光技術(shù) ,以達(dá)到小的吸濕性,潔凈度達(dá)到清潔室
標(biāo)準(zhǔn)。
該變送器交付完整的校準(zhǔn)和操作,并提供 4-20mA 的校準(zhǔn)輸
出,能夠連接到密析爾的顯示模塊或中央控制系統(tǒng)。
該產(chǎn)品的設(shè)計(jì)具有小的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。這確保了過(guò)程應(yīng)用中快
的響應(yīng)速度,也保證了濕度測(cè)量時(shí)的快響應(yīng)速度。傳感器密
封墊圈可以在小壓力 10-9torr 內(nèi)工作,同
服務(wù)與校準(zhǔn)
密析爾為想要少停機(jī)時(shí)間和設(shè)備可追溯性的用戶提供以下兩
種服務(wù):
傳感器替換 –用戶可以簽訂一個(gè)有保障的合同,可以更換
傳感器。當(dāng)傳感器出現(xiàn)問(wèn)題時(shí),可以把更換下來(lái)的傳感器
返回密析爾檢測(cè),從而實(shí)現(xiàn)零停機(jī)時(shí)間。
校準(zhǔn) – 用戶將傳感器返回密析爾,密析爾會(huì)對(duì)返回的傳感
器進(jìn)行檢查和校準(zhǔn)。這樣為過(guò)程中的傳感器就可以實(shí)現(xiàn)可追
溯性。



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