英國密析爾 高純氮氣露點傳感器
亮點
應(yīng)用
? 測量范圍低可達-120°Cdp (1ppbV)
?
高純氣
? 穩(wěn)定而可重復(fù)的測量
?
半導(dǎo)體制造
? 模擬和數(shù)字輸出
?
光纖生產(chǎn)
?
安裝簡單
?
電子元件制造
?
VCR 過程連接
快速響應(yīng)
高純氣體微量露點變送器
在許多高純氣體的應(yīng)用中,如半導(dǎo)體行業(yè),氣體的殘留水分
對于工藝操作的影響是至關(guān)重要。
根據(jù)以往的經(jīng)驗,微量水分測量一直是一個難題,這需要
使用復(fù)雜或昂貴的分析儀測量。
Pura 露點變送器的優(yōu)勢在于密析爾阻抗傳感器生產(chǎn)和校準(zhǔn)
的經(jīng)驗和專長。工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)材料和制造工藝結(jié)合的低成本變送
器,適用于大規(guī)模集成半導(dǎo)體制造廠或高純氣體管線中。
使用簡單
這種獨立的變送器設(shè)計成可無縫接入純氣的過程應(yīng)用
中,并可提供可靠的測量結(jié)果。
Pura 的傳感器外殼是由冷拉不銹鋼制成,內(nèi)部采用 0.25Ra
μm 電拋光技術(shù) ,以達到小的吸濕性,潔凈度達到清潔室
標(biāo)準(zhǔn)。
該變送器交付完整的校準(zhǔn)和操作,并提供 4-20mA 的校準(zhǔn)輸
出,能夠連接到密析爾的顯示模塊或中央控制系統(tǒng)。
該產(chǎn)品的設(shè)計具有小的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。這確保了過程應(yīng)用中快
的響應(yīng)速度,也保證了濕度測量時的快響應(yīng)速度。傳感器密
封墊圈可以在小壓力 10-9torr 內(nèi)工作,同
服務(wù)與校準(zhǔn)
密析爾為想要少停機時間和設(shè)備可追溯性的用戶提供以下兩
種服務(wù):
傳感器替換 –用戶可以簽訂一個有保障的合同,可以更換
傳感器。當(dāng)傳感器出現(xiàn)問題時,可以把更換下來的傳感器
返回密析爾檢測,從而實現(xiàn)零停機時間。
校準(zhǔn) – 用戶將傳感器返回密析爾,密析爾會對返回的傳感
器進行檢查和校準(zhǔn)。這樣為過程中的傳感器就可以實現(xiàn)可追
溯性。



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