安徽溫管式爐真空管式爐（分子泵系統(tǒng)） 安徽廣樹高溫管式爐真空管式爐

真空管式爐（分子泵系統(tǒng)）技術(shù)方案書 一、技術(shù)指標(biāo)： （一）整機(jī)技術(shù)指標(biāo) 1、結(jié)構(gòu)型式:單管一體式真空管式爐 2、真空室等溫段長度：300mm 3、等溫區(qū)溫度均勻度：≤±5℃ 4、設(shè)定溫度：1200℃ 5、工藝溫度：400℃-1100℃ 6、爐管直徑長度：φ80mm，1200mm 7、工作室材料:高純石英管 8、控溫方式：可控硅移相調(diào)壓+智能PID調(diào)節(jié)+程序升降溫 9、極限真空度：9.0×10-5pa（冷態(tài)空載） 10、工作真空度：＜9.0×10-4pa (@800℃空載) 11、預(yù)計(jì)空載升溫時間：30分鐘 12、預(yù)計(jì)空載降溫時間：40分鐘 13、供電方式：380,三相 50/60Hz 14功率：8kw （二）石英器件技術(shù)指標(biāo) 1、內(nèi)壁波紋高度0.2mm，壁厚5mm； 2、整體應(yīng)力，長期使用溫度1100℃； 3、管壁均勻一致，表面及內(nèi)部不得有劃痕、氣泡等缺陷； 4、純度99.99%以上，雜質(zhì)含量（Al、Fe、Mg、Cu、Ni、Mn、Ti、Na、K、Li、B等十三個雜質(zhì)元素的總含量≤50×10-6，其中：Fe≤3×10-6 Cu≤0.8×10-6 Na≤2×10-6 K≤2×10-6 Li≤2×10-6 B≤0.3×10-6； 5、qiang基含量≤220×10-6； 6、熱穩(wěn)定性：在1000℃下恒溫15分鐘，置于205℃水中急冷，不出現(xiàn)裂紋、缺口。 7、析晶性能：在100010℃下恒溫6小時，析晶層平均厚度不大于100m。 二、設(shè)備結(jié)構(gòu) 真空燒結(jié)爐主要由石英工作室、設(shè)備機(jī)架、真空系統(tǒng)、可移動電熱爐體、功率變壓器、功率調(diào)節(jié)部件、冷卻系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)組成。 1、爐體：結(jié)構(gòu)由爐絲、絕緣子、保溫棉、外殼、把口環(huán)、等構(gòu)成。爐體恒溫區(qū)300mm，總長1200-1500 mm,石英管加熱全在加熱爐膛中，石英管徑Ф100mm。采用三段控溫技術(shù)，（區(qū)別于石英管另外還有對應(yīng)的三點(diǎn)測溫），一點(diǎn)超溫保護(hù)，從而確保恒溫區(qū)內(nèi)溫度的精度，以及爐體使用的安全。 2、加熱原件：發(fā)熱均勻，加熱穩(wěn)定，壽命長，可參考加熱絲采用瑞典KANTHAL，A-1牌號，Ф8mm爐絲，可多年長期工作在1100℃的高溫，加熱爐絲采用三段控溫結(jié)構(gòu)，加熱纏繞需確保繞制爐絲時爐絲直徑的均勻度。 3、絕緣子：絕緣子的功能是，一方面要保證爐絲匝間間距的均勻性，因?yàn)樗苯佑绊懞銣貐^(qū)參數(shù)。另一方面爐絲需要靠絕緣子支撐，以保證高溫使用情況下不下塌。為了保證在有限長度的爐體上獲得更長的恒溫區(qū)，采用多種間距的絕緣子（理論依據(jù)：單段加熱爐體溫度在爐體長度上呈正態(tài)分布，多段加熱爐體內(nèi)溫度可以使用迭加原理計(jì)算）。 4、保溫材料：保溫材料的材質(zhì)和保溫材料的包裝工藝是爐體的又一個極其重要的關(guān)鍵技術(shù)，根據(jù)爐體的具體使用要求來進(jìn)行設(shè)計(jì)和計(jì)算。選擇英國摩根公司含鋯塞拉纖維針刺毯。 5、外殼：選用冷軋鋼板、304不銹鋼磨砂板。 6、石英爐膛：具有極高純度和抗高溫性能的融凝管，能保證加工過程人員能更好地把握較高的效果和較大器件負(fù)荷量之間的平衡，以期達(dá)到高溫狀態(tài)下的性能，要求高純，純度大于99.99%，厚度5mm,