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ACM200電容薄膜真空計(jì)ACM200-13TBA ACM200 電容薄膜壓力計(jì),通常安裝在真空腔體或管道上,讀取實(shí)時壓力,±15VDC的電源和0 - 10VDC信號輸出的,廣泛用于半導(dǎo)體工程和真空工業(yè)設(shè)備。 特點(diǎn) 直接測量方式測量壓力 無關(guān)氣體組分影響 可應(yīng)用于腐蝕性氣體環(huán)境,適合于各類制程應(yīng)用 可搭配Atovac儀表,實(shí)時顯示 測量范圍從10E-4Torr至1000TOrr,覆蓋大多數(shù)制程壓力范圍 規(guī)格 壓力范圍(滿量程) 1、2、10、100、1000 低壓力 0.01%滿量程 精度 ±0.25%讀數(shù) 可選: ±0.15%讀數(shù) 溫度效應(yīng) 零點(diǎn) 0.002% 滿量程/°C 跨度 0.02% 讀數(shù)/°C 工作環(huán)境溫度 0℃至50℃ 暴露于氣體中的材料 鉻鎳鐵合金 泄漏率 1x10-8sec/sec He? 大壓力 310Kpa 電源要求 ±15VDC (±5%) @ 35 mA 輸出信號 0 to +10VDC into ≥ 10K Ω load 法蘭 8 VCR, NW16KF
注冊資金:100萬-500萬
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