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無塵潔凈室(Clean Room),亦稱為無塵室,潔凈室或無塵車間。它是污染控制的基礎。沒有無塵潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產。在 FED-STD-2里面,無塵潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間,其定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。一、無塵潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計建成的無塵潔凈房間。 二、無塵潔凈室的原理。潔凈室是利用HEPA、空氣凈化設備,其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多,因此經過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內除了人以外,尚有機器等之發(fā)塵源,這些發(fā)生的塵埃一旦擴散,即無法保持潔凈空間,因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。 三、無塵潔凈室中的三塵。無塵潔凈室有三大原則:禁塵、帶塵、產塵。風淋室作為進入潔凈室的緩沖通道之一,是控制帶塵的凈化設備之一,它可以限度地減少員工進出無塵潔凈室所帶來的污染問題。風淋室的兩道門電子互鎖,可以兼起氣閘室的作用,阻止外界污染和未被凈化的空氣進入無塵潔凈區(qū)域,達到生產車間所要求的生產潔凈環(huán)境。
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