微型探針臺(tái)主要應(yīng)用于傳感器 半導(dǎo)體

微型探針臺(tái)主要應(yīng)用于傳感器 半導(dǎo)體探針臺(tái)主要應(yīng)用于傳感器，半導(dǎo)體，光電，集成電路以及封裝的測(cè)試。 廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。 探針臺(tái)主要應(yīng)用于傳感器，半導(dǎo)體，光電，集成電路以及封裝的測(cè)試。 廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。 該探針臺(tái)的承載臺(tái)為26X26mm不銹鋼臺(tái)面，臺(tái)面可升溫到350℃。真空腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動(dòng)，三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下精密移位調(diào)節(jié)，其中X方向調(diào)節(jié)范圍：0-13mm,y方向調(diào)節(jié)范圍：0-13mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0-13mm；用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時(shí)將需檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上，再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)點(diǎn)后，即可進(jìn)行檢測(cè) 三：主要技術(shù)要求微型探針臺(tái)主要應(yīng)用于傳感器 半導(dǎo)體 1． 類型：高溫型：室溫～350℃ 低溫型 -190℃:350℃ 低溫型：室溫到-190℃ 2． 腔體材質(zhì)：304不銹鋼 3． 腔體內(nèi)尺寸：φ90x40mm 4． 腔體上視窗尺寸：Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm） 5． 腔體抽氣口：KF16 6． 腔體進(jìn)氣口：公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 7． 腔體出氣口：公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 8． 腔體正壓：≤0.05MPa 9． 腔體真空度：機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） 10． 樣品臺(tái)材質(zhì)：304不銹鋼 11． 樣品臺(tái)尺寸：26X26mm 12． 樣品臺(tái)-視窗 距離：30mm（可選凹視窗間距15mm） 13． 樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器：*級(jí)PT100鉑電阻 14． 樣品臺(tái)溫度：室溫到350℃（可選高低溫樣品臺(tái) 高溫350℃低溫-190℃） 15． 樣品臺(tái)測(cè)溫誤差：±0.2℃ 16． 樣品臺(tái)變溫速率：高溫10℃/min 低溫5℃/min 值 17． 溫度顯示：7寸人機(jī)界面 18． 溫控類型：標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定（可選30段編程控溫） 19． 溫度分辨率：0.1℃ 20． 溫控精度：±0.5℃ 21． 溫度信號(hào)輸入類型：PT100熱電阻 （可選 K S B型熱電偶） 22． 溫控輸出：直流線性電源加熱（液氮流量線性控制液氮制冷） 23． 輔助功能：溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線 24． 電信號(hào)接頭：配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長(zhǎng)1.2米 25． 電學(xué)性能：絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA 26． 探針數(shù)量：4探針（可定做6探針） 27． 探針材質(zhì)：鍍金鎢針 28． 探針尖：10μm 29． X軸移動(dòng)行程：12mm ±6mm 30． X軸控制精度：≤5μm 31． Y軸移動(dòng)行程：12mm ±6mm 32． Y軸控制精度：≤5μm 33． Z軸移動(dòng)行程：12mm ±6mm 34． Z軸控制精度：≤5μm 35． 顯微鏡類別：物鏡放大+電子放大 36． 顯微鏡放大倍數(shù)：100倍 37． 顯微鏡工作間距：50-150mm 38． 相機(jī)分辨率：1080P 60幀 39． 相機(jī)信號(hào)輸出：HDMI輸出+USB輸出 40． LED可調(diào)光源：LED光源 41． 顯示屏：5寸 屏幕一體機(jī) 四：主要配置要求 1．1臺(tái) · KT-0904T-RL微型探針臺(tái)一臺(tái) 2．1臺(tái) · 觸摸屏溫控箱 3. 1個(gè)· 6mm聚四氟管 4. 1根 電源線 5: 2個(gè) 6mm金屬內(nèi)襯 6： 1根 觸摸屏筆 7： 4個(gè) SMA-香蕉插頭 8： 1根 功率輸出線 9: 6米 6mm水冷管 10： 1套 K型上蓋扳手、備用螺絲，內(nèi)六角 選配: 分子泵真空機(jī)組 機(jī)械泵