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原理：

在儲罐上設(shè)置氮封系統(tǒng)，維持罐內(nèi)氣相空間壓力在2KPa左右，當(dāng)氣相空間壓力高于2KPa時，氮封閥關(guān)閉，停止氮?dú)夤?yīng)；當(dāng)氣相空間壓力低于2KPa時，氮封閥開啟，開始補(bǔ)充氮?dú)?，保證儲罐在正常運(yùn)行過程中不吸進(jìn)空氣，防止空氣中的塵埃、CO2等污染物進(jìn)入DI水中形成二次污染。

1）在每臺儲罐上設(shè)置先導(dǎo)式氮封閥組和溢流水封箱，正常情況下使用氮封閥組維持罐內(nèi)氣相空間壓力在2KPa左右，當(dāng)氣相空間壓力高于2KPa時，氮封閥關(guān)閉，停止氮?dú)夤?yīng)；當(dāng)氣相空間壓力低于2KPa時，氮封閥開啟，開始補(bǔ)充氮?dú)狻?/span>

2）當(dāng)?shù)忾y需要檢修或故障時：

在負(fù)壓低于-1Kpa時，溢流管水封箱從防負(fù)壓口吸入空氣，防止負(fù)壓過高導(dǎo)致水箱吸扁；在壓力高于2KPa時，通過溢流管水封箱的溢出口外排多余的氮?dú)猓乐顾渑蛎浧屏?，以防止事故擴(kuò)大。

3）當(dāng)DI水箱液位器需要檢修或故障時：

如DI水箱的液位器出現(xiàn)異常時，水箱滿水通過溢流管水封箱的溢出口外排多余的水，防止水箱膨脹破裂，以防止事故擴(kuò)大。