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[工具顯微鏡 二次元顯微鏡 測量顯微鏡 高精度顯微鏡 光學(xué)顯微鏡]
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1. 儀器主機說明
TMM-2107是我司針對半導(dǎo)體行業(yè)推出的一款高性能的手動測量金相顯微鏡,結(jié)合公司多年影像測量和掃描的生產(chǎn)經(jīng)驗,以及自主研發(fā)的三維測量掃描軟件,將設(shè)備的高性能的特點發(fā)揮到**。
l 選用高清品牌相機,措載soptop高端金相系統(tǒng),整體成像清晰無閃爍,視場開闊。
l 物鏡可切換多種倍率:5x,10x,20×,50x(選配)100×(選配),**綜合倍率**可達
2000倍以上。
l 標配反射和透射LED可程控光源或非程控鹵素光源。
l 利用可變孔徑光闌,可進行無衍射觀察測量。
l 單視野范圍內(nèi)測量精度±1μm,重復(fù)精度±0.5μm加裝光譜共焦位移傳感器可測高度、
深度、平面度,測量精度±1μm。
l 可根據(jù)客戶需求,訂制各種尺寸工作臺,目前*大行程可做3000*2000mm,*小行程可做
50*50mm工作臺。
l 有精調(diào)/微調(diào)兩種模式,便于**聚焦和觀察測量,快速定位焦面。
l 可根據(jù)客戶要求加配超長工作距離APO物鏡,激光測頭各種規(guī)格攝像機以及更高精度光
柵等(光尺**選配0.01μm)。
l 自主研發(fā)金相測量軟件,頁面簡潔大氣,操作方便易上手,可適高精度要求的復(fù)雜工件
測量。
2.技術(shù)參數(shù)
| 掃描范圍 | XYZ三軸移動范圍(mm) | 200*100*70 | ||
| 外形尺寸(mm) | 520*530*740 | |||
| 玻璃臺面尺寸(mm) | 245*145 | |||
| 臺面承重(kg) | 25 | |||
| 儀器凈重(kg) | 100 | |||
| 光學(xué)影像及測量系統(tǒng) | 光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠平場消色差金相顯微光學(xué)模組(3目) | ||
| 金相顯微物鏡倍率 | 5X | 10X | 20X | |
| 視頻總放大倍率 | 241.5X | 483X | 966X | |
| 雙目目鏡倍率 | 標配10X目鏡(視場數(shù)Φ22mm),也可選配20X目鏡 | |||
| 物方工作距離(mm) | 26.1 | 20.2 | 8.8 | |
| 物方視場(mm) | 1.47*0.98 | 0.735*0.49 | 0.368*0.245 | |
| 照明光源 | 上光:LED同軸落射冷光源(程控調(diào)光) 底光:LED平行冷光源(程控調(diào)光) 輔光: LED光源(程控調(diào)光) | |||
| 攝像機 | HIKVISION 500萬像素高清彩色數(shù)字相機 | |||
| 示值誤差(μm) | 單視野 | ±1 | ||
| XY行程范圍 | 2.5+L/200 | |||
| 重復(fù)精度(μm) | 單視野 | ±0.5 | ||
| XY行程范圍 | 2.5 | |||
| XYZ光柵分辨力(μm) | 1 | |||
| 掃描測量軟件 | ZT Vision-M | |||
| 其他選配件 | 光譜共焦位移傳感器、激光位移傳感器、自動變倍金相顯微模組等 | |||
| 電腦 | 聯(lián)想E95/G3930/4G/1T/集成 | |||
| 工作電源 | AC200-240V 50/60Hz 450W(注:需有電阻≤4Ω接地線) | |||
| 工作環(huán)境 | 溫度20±2℃, 相對濕30%-80%,振動<0.002g,低于15Hz, 遠離振源 | |||
注冊資金:100萬-500萬
聯(lián)系人:周先生
固話:027-81818251
移動手機:18672966033
企業(yè)地址:湖北 武漢市 江夏區(qū)