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激光測(cè)厚儀的基本組成是激光器、成像物鏡、光電位敏接收器、信號(hào)處理機(jī)測(cè)量結(jié)果顯示系統(tǒng)。激光束在被測(cè)物體表面上形成一個(gè)亮的光斑,成像物鏡將該光斑成像到光敏接收器的光敏上,產(chǎn)生探測(cè)其敏感面上光斑位置的電信號(hào)。 當(dāng)被測(cè)物體移動(dòng)時(shí),其表面上光斑相對(duì)成像物鏡的位置發(fā)生改變,相應(yīng)地成像點(diǎn)在光敏器件上的位置也要發(fā)生變化,兩者之間的關(guān)系:
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