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靶材材料廣泛應(yīng)用于背面金屬化系統(tǒng)、汽車(chē)工業(yè)、高溫材料和生物醫(yī)學(xué)中?!鞍雽?dǎo)體器件用鎳鉑靶材的制備關(guān)鍵技術(shù)及產(chǎn)業(yè)化”取得重大打破,建立了生產(chǎn)線并取得良好經(jīng)濟(jì)效益,鎳鉑靶材替代了****產(chǎn)品并遠(yuǎn)銷(xiāo)海外。國(guó)內(nèi)靶材等半導(dǎo)體材料的帶領(lǐng)者企業(yè),實(shí)現(xiàn)了高純金屬、靶材一體化運(yùn)營(yíng),在高純金屬、銅靶材、鈷靶材等產(chǎn)品上實(shí)現(xiàn)了技術(shù)打破。并成功進(jìn)入到國(guó)外集成電路企業(yè)的供應(yīng)鏈。 金屬鋁靶材Al,金屬銻靶材,金屬鉍靶材Bi,金屬靶材Cd,硼靶材B,碳靶材C,石墨靶材C,稀土靶材Ce,金屬鉻靶材Cr,金屬鈷靶材Co,金屬銅靶材Cu,稀土金屬鏑靶材Dy,稀土金屬鉺靶材Er,稀土金屬銪靶材Eu,稀土金屬釓靶材Gd,鍺靶材Ge,黃金靶材Au,金屬鉿靶材Hf,稀土金屬鈥靶材Ho,金屬銦靶材In,金屬銥靶材Ir,金屬鐵靶材Fe,靶材La,金屬镥靶材Lu,金屬鎂靶材Mg,金屬錳靶材Mn,難熔金屬鉬靶材Mo,稀土靶材Nd,金屬鎳靶材Ni,難熔金屬鈮靶材Nb,貨品鈀靶材Pd,貨品鉑靶材Pt,金屬鐠靶材Pr,金屬錸靶材Re,貨品釕靶材Ru,金屬釤靶材Sm,金屬硒靶材Se,金屬鈧靶材Sc,貨品銀靶材Ag,金屬硅靶材Si,難熔金屬鉭靶材Ta,稀土金屬銩靶材Tm,金屬錫靶材Sn,金屬鈦靶材Ti,難熔金屬鎢靶材W,金屬釩靶材V,稀土金屬鐿靶材Yb,稀土金屬釔靶材Y,靶材Zr,金屬鋅靶材Zn,鋨靶材Os,銠靶材Rh。 靶材修復(fù),影響靶中毒的因素主要是反應(yīng)氣體和濺射氣體的比例,反應(yīng)氣體過(guò)量就會(huì)導(dǎo)致靶中毒。反應(yīng)濺射工藝進(jìn)行過(guò)程中靶表面濺射溝道區(qū)域內(nèi)出現(xiàn)被反應(yīng)生成物覆蓋或反應(yīng)生成物被剝離而重新露金屬表面此消彼長(zhǎng)的過(guò)程。如果化合物的生成速率大于化合物被剝離的速率,化合物覆蓋面積增加。在一定功率的情況下,參與化合物生成的反應(yīng)氣體量增加,化合物生成率增加。如果反應(yīng)氣體量增加過(guò)度,化合物覆蓋面積增加,如果不能及時(shí)調(diào)整反應(yīng)氣體流量,化合物覆蓋面積增加的速率得不到舒緩,濺射溝道將進(jìn)一步被化合物覆蓋,當(dāng)濺射靶被化合物全部覆蓋的時(shí)候,靶完全中毒,在靶面上沉積一層化合金屬膜。使其很難被再次反應(yīng)。
注冊(cè)資金:1000萬(wàn)-5000萬(wàn)
聯(lián)系人:楊永添
固話:020-22968888
移動(dòng)手機(jī):18026253787
企業(yè)地址:廣東 廣州市 花都區(qū)