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物流： 廣東廣州市花都區(qū)| 賣家支付運(yùn)費(fèi)

可銷售總量： 9999件

手機(jī)： 18026253787 郵箱： yongtimy@uvtm.com

傳真： 020-22968899 地址： 廣東廣州市

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純度： 99.9%-99.999%
工藝： 大氣噴涂，真空噴涂
電阻率： 按客戶要求定制

硅靶材的應(yīng)用非常廣泛。基于理物相沉積(PVD)的濺射工藝具有薄膜純度高、成膜質(zhì)量好、沉積速度快、工藝穩(wěn)定可靠等優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于集成電路生產(chǎn)制造中具有不可替代性。濺射沉積薄膜的原材料就是靶材，靶材的化學(xué)純度、籌備性能等直接決定了芯片中接觸層、介質(zhì)層、互連層等薄膜的性能，從而影響電子產(chǎn)品的性能和壽命。芯片對(duì)濺射靶材的要求非常高，它要求靶材純度要達(dá)到5N(99.999%)以上。在真空中制備膜層，包括鍍制晶態(tài)的金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等單質(zhì)或化合物膜。雖然化學(xué)汽相沉積也采用減壓、低壓或等離子體等真空手段，但一般真空鍍膜是指用物理的方法沉積薄膜。真空鍍膜有三種形式，即蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍。

高純真空濺射靶材可分為：高純金屬靶材、多元合金靶材、陶瓷濺射靶材、金屬膜電阻器用靶材。高純金屬靶材:鋯靶Zr、鉻靶Cr、鈦靶Ti、鋁靶Al、錫靶Sn、釩靶V、銻靶Sb、硼靶 B、鎢靶W、錳靶Mn、鉍靶Bi、銅靶Cu、石墨靶C、硅靶Si、鉭靶Ta、鋅靶Zn、鎂勒 Mg、鈮靶Nb、鉬靶Mo、鎳靶Ni、銀靶Ag、不銹鋼靶材等……多元合金靶材;鈦鋁靶Ti-Al、鈦鋯靶Ti-Zr、鈦硅靶Ti-Si、鈦鎳靶Ti-Ni、鎳鉻靶Ni-Gr鎳鋁靶Ni-A1、鎳釩靶Ni-V 鎳鐵靶Ni-Fe、鋁硅靶Al-Si、鈦硅靶Ti-Si、鉻硅靶Cr-Si鋅鋁靶Zn-Al、鈦鋅靶材Ti-Zn、鋁硅銅靶Al-Si-Cu等……半導(dǎo)體芯片行業(yè)是金屬濺射靶材的主要應(yīng)用領(lǐng)域之一，是對(duì)靶材的成分、籌備和性能要求高的領(lǐng)域。

科技日?qǐng)?bào)：ITO靶材屬于35項(xiàng)卡脖子技術(shù)之一。UVTM掌握濺射靶材生產(chǎn)的核心技術(shù)以后，實(shí)施極其嚴(yán)格的保密措施，限制技術(shù)擴(kuò)散，目前制備太陽(yáng)能電池較為常用的濺射靶材包括鋁靶、銅靶、鉬靶、鉻靶以及ITO靶、AZO靶(氧化鋁鋅)等在國(guó)內(nèi)處于較高水平。其中鋁靶、銅靶用于導(dǎo)電層薄膜，鉬靶、鉻靶用于阻擋層薄膜，邦定：長(zhǎng)4米靶材的邦定，3米管靶材邦定，大面積平面銅背板，鈦背板的邦定，綁定率高，超聲波探傷儀檢測(cè)4米管靶材邦定大面積邦定技術(shù)銅背板鈦背板邦定高綁定率能邦定G10.5代線。產(chǎn)地：廣州。材質(zhì)：Ag、Cu晶粒度：100um產(chǎn)品用途：銀銅合金靶材主要用于真空濺射鍍膜。銀銅合金優(yōu)勢(shì)：有良好的導(dǎo)電性、流動(dòng)性和浸潤(rùn)性、較好的機(jī)械性能、硬度高。耐磨性和抗熔焊性。有偏析傾向。

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