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噴涂制備氧化鈦靶材、金屬靶是利用電弧將靶材材料加熱到熔融或半熔融狀態(tài),借助高速氣體將其霧化,形成小的熔滴,并加速噴射到襯管或襯板表面,快速冷卻凝固成金屬涂層靶材的過程。非金屬和陶瓷靶通常是利用等離子加熱粉末材料的方法噴涂制成。 靶材熔鑄技術(shù)可分為三種不同的澆鑄形式:無襯管或襯板的整體式甩帶澆鑄、有襯管或襯板的直接澆鑄、分段甩帶澆鑄再粘結(jié)成靶材(Ag等)。 熱噴涂和熔鑄靶材不同的生產(chǎn)過程決定了不同的成本構(gòu)成。 熱噴涂靶材的生產(chǎn)成本隨靶材厚度的增加而增大,噴涂靶材可以通過調(diào)整噴涂工藝獲得不同的靶材尺寸,噴涂的時(shí)間、消耗的氣體和能量是影響其成本的主要因素。而熔鑄旋轉(zhuǎn)靶材的成本隨厚度變化較小,靶材先熔鑄成型,而后機(jī)械加工達(dá)到尺寸 要求。對于不同尺寸的旋轉(zhuǎn)靶材,其原材料和加工成本基本是固定的。 國外企業(yè)大多使用的是噴涂工藝的旋極靶材,靶材的利用率高,可以到達(dá)80%,因而大量節(jié)約鍍膜成本,噴涂旋轉(zhuǎn)靶材在鍍膜行業(yè)得到了廣泛應(yīng)用。以一款噴涂的旋轉(zhuǎn)靶為例:應(yīng)用:用于制作SiO2膜、Si3N4膜,主要用于光學(xué)玻璃AR膜系,Low-E玻璃膜系,半導(dǎo)體電子, TFT, 平面顯示. 觸摸屏玻璃。

產(chǎn)品實(shí)拍
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