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產(chǎn)品特點(diǎn)

高純靶材主要用于對(duì)材料純度、穩(wěn)定性要求更高的領(lǐng)域,像集成電路、平板顯示器、太陽(yáng)能電池、記錄媒體、智能玻璃等行業(yè)。在濺射靶材應(yīng)用領(lǐng)域中,半導(dǎo)體芯片對(duì)濺射靶材的要求是比較高的,要求靶材純度很高,一般在5N(99.999%)以上。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對(duì)濺射靶材和濺射薄膜的品質(zhì)要求非常高,隨著更大尺寸的硅晶圓片制造出來(lái),相應(yīng)地要求濺射靶材也朝著大尺寸、高純度的方向發(fā)展,同時(shí)也對(duì)濺射靶材的晶粒晶向控制提出了更高的要求。半導(dǎo)體材料市場(chǎng)占比在 3%左右的濺射靶材。簡(jiǎn)單地說(shuō),靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標(biāo)材料,通過(guò)更換不同的靶材(如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。 我國(guó)磁控濺射靶材的需求量盡量保持穩(wěn)定增長(zhǎng),截止2018年我國(guó)磁控濺射靶材需求量達(dá)到45.37萬(wàn)噸。未來(lái)我國(guó)磁控濺射靶材需求量未來(lái)將繼續(xù)保持增長(zhǎng),預(yù)計(jì)到2025年我國(guó)磁控濺射靶材需求量將達(dá)到70.48萬(wàn)噸。濺射靶材的要求較傳統(tǒng)材料行業(yè)高,一般要求如,尺寸、平整度、純度、各項(xiàng)雜質(zhì)含量、密度、N/O/C/S、晶粒尺寸與缺陷控制;較高要求或特殊要求包含:表面粗糙度、電阻值、晶粒尺寸均勻性、成份與籌備均勻性、異物(氧化物)含量與尺寸、導(dǎo)磁率、非常高密度與超細(xì)晶粒等等。磁控濺射鍍膜是一種新型的物相鍍膜方式,就是用電子系統(tǒng)把電子發(fā)射并聚焦在被鍍的材料上,使其被濺射出來(lái)的原子遵循動(dòng)量轉(zhuǎn)換原理以較高的動(dòng)能脫離材料飛向基片淀積成膜。這種被鍍的材料就叫濺射靶材。濺射靶材有金屬,合金,陶瓷化合物等。 什么是靶材,如何應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)?中國(guó)芯片究竟在哪個(gè)環(huán)節(jié)被美國(guó)“卡”了脖子?高純度濺射靶材主要應(yīng)用于電子元器件制造,2019年,我國(guó)芯片自給率僅為30%左右。根據(jù)有關(guān)部門的發(fā)展規(guī)劃,2025年,中國(guó)預(yù)計(jì)將芯片自給率提升到70%,這差不多是當(dāng)下美國(guó)等芯片大國(guó)的平均水平。作為一個(gè)龐大且復(fù)雜的行業(yè),芯片行業(yè)擁有一條超長(zhǎng)的產(chǎn)業(yè)鏈。其整體可分為設(shè)計(jì)、制造、封裝、四大環(huán)節(jié)。除了在設(shè)計(jì)領(lǐng)域,國(guó)內(nèi)廠商擁有一定的打破能力,其他三個(gè)環(huán)節(jié),尤其是在制造環(huán)節(jié),國(guó)內(nèi)廠商的能力仍有較大的提升空間。

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