晶圓薄膜電阻修調(diào)類目 > 商鋪首頁(yè) > 產(chǎn)品展示 > 武漢市晶圓薄膜電阻修調(diào)廠家_供應(yīng)晶圓薄膜電阻修調(diào)、激光修阻機(jī)、激光調(diào)阻機(jī)
供應(yīng)晶圓薄膜電阻修調(diào)、激光修阻機(jī)、激光調(diào)阻機(jī) 供應(yīng)晶圓薄膜電阻修調(diào)、激光修阻機(jī)、激光調(diào)阻機(jī) 供應(yīng)晶圓薄膜電阻修調(diào)、激光修阻機(jī)、激光調(diào)阻機(jī)

供應(yīng)晶圓薄膜電阻修調(diào)、激光修阻機(jī)、激光調(diào)阻機(jī)

武漢市晶圓薄膜電阻修調(diào)廠家

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SET3/1064/532/355,SFT3:激光微調(diào)機(jī)/激光修阻機(jī)/激光調(diào)阻機(jī)/激光刻阻機(jī) 
激光調(diào)阻機(jī)的成功研制對(duì)推動(dòng)我國(guó)微電子行業(yè)的產(chǎn)業(yè)升級(jí)起到重要作用。激光調(diào)阻機(jī)是利用激光技術(shù)對(duì)厚、薄膜電路進(jìn)行修調(diào),以得到高精度的電阻值或精準(zhǔn)的輸出信號(hào)。公司生產(chǎn)的激光調(diào)阻機(jī)全部擁有自主,采用高質(zhì)量的激光源和精密的測(cè)量系統(tǒng),空氣懸浮平面運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu),各項(xiàng)性能指標(biāo)達(dá)到水平,是取代進(jìn)口產(chǎn)品之.
SET507系列技術(shù)參數(shù):
1.激光器系統(tǒng)
激光波長(zhǎng):532nm/355nm
激光平均功率:7W
典型光斑尺寸: 15μm±3μm
實(shí)際切口取決于材料、光學(xué)器件和波長(zhǎng)
冷卻方式:風(fēng)冷
對(duì)焦方式:計(jì)算機(jī)程序控制
2.激光束定位系統(tǒng)
激光束運(yùn)動(dòng)范圍:50mm X 50mm
重復(fù)定位精度:2μm
定位精度:±5μm
激光束最小步進(jìn):0.76μm
3.分步重復(fù)機(jī)械運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)
運(yùn)動(dòng)方式:空氣懸浮運(yùn)動(dòng),無(wú)摩擦力
運(yùn)動(dòng)范圍:290mm*260mm
陶瓷基板尺寸:150mm*150mm(可根據(jù)要求定做)
運(yùn)動(dòng)分辨率:1μm
重復(fù)精度:2μm
定位精度:±15μm
運(yùn)動(dòng)速度:500mm/s
4.測(cè)量系統(tǒng)
激勵(lì)方式:電流激勵(lì)
恒流源:0.01μA~100mA計(jì)算機(jī)程控選擇
電阻測(cè)量方式:四線制加電流測(cè)電壓(可選擇二線制)
直流電壓測(cè)量:10mV~10V(滿程電壓)
電阻測(cè)量精度:低阻:<0.05%+0.5%/R  (R<100Ω)    
              中阻:<0.05%
              高阻:<0.05%+0.5%R(R>0.1MΩ)
電阻測(cè)量范圍: 0.1Ω-10MΩ
電阻測(cè)量速度:25μs
直流電壓分辨率:0.16μV(在10mV滿量程條件下)
探針板運(yùn)動(dòng):計(jì)算機(jī)程序控制
5.計(jì)算機(jī)及軟件系統(tǒng)
工業(yè)控制計(jì)算機(jī)(雙核),19寸液晶
操作系統(tǒng):Windows XP
軟件可編程,界面友好,功能強(qiáng)大
軟件系統(tǒng)可免費(fèi)升級(jí)和進(jìn)行功能擴(kuò)展
6.圖像監(jiān)視系統(tǒng)
監(jiān)視方式:激光同軸監(jiān)視
監(jiān)視視場(chǎng):2-3mm(對(duì)角線)
顯示屏:19寸液晶
7.其它技術(shù)指標(biāo)
供電電壓:220V AC
整機(jī)功耗:1200W

激光器的選擇:
針對(duì)被修調(diào)電阻材料特性,選擇合適波長(zhǎng)的激光器,可提升切割效果,對(duì)于金屬薄膜電阻,一般采用532um或355nm短波長(zhǎng)激光可達(dá)到理想效果,有些金屬薄膜電阻也可以采用

應(yīng)用和市場(chǎng):
主要應(yīng)用于厚、薄膜電路的精密調(diào)節(jié)。廣泛應(yīng)用于厚膜混合集成電路,電子元器件,汽車電器,傳感器,科研,片式電阻行業(yè)等。

公司名稱:武漢三工光電設(shè)備制造有限公司
公司地址:湖北武漢東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)武漢大學(xué)科技園武大園四路
聯(lián)系人:陶女士
電話:027-59722666-8013
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注冊(cè)資金:100萬(wàn)-500萬(wàn)

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