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| 【性能參數(shù)】 |
| 氣體傳輸:1- 4種氣體 , Swagelok卡套連接 氣體類型: 空氣、N2, O2 ,CO2等 進氣壓力:2 --8bar 出口氣體:1--4種 控制閥動作型式:常閉式 響應(yīng)時間(sec):1S 工作壓差:0.05~0.5MPA 耐壓:3MPA 出口壓力:0 --6bar 控制原理:質(zhì)量流量控制,每個出口單獨控制,含溫度及濕度休整補償(由于密度和溫度的關(guān)系很大, 為 減少誤差補償) 流速:0~5,10,20,30,50,100,200,500SCCM 0~1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30,200SLM 采用溫度變化對應(yīng)于質(zhì)量流量的原理,可以對不同的氣體進行流量量測及控制。 可應(yīng)用在5SCCM到200SLM的氣體流量范圍,并且不會受到溫度及壓力變化的影響 其他流速可選擇 ,其他氣體可選擇 準(zhǔn)確性: 優(yōu)于2% 保護: IP20 數(shù)據(jù):輸出的數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的質(zhì)量( 1個大氣壓,0度) 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃(273.15K) 標(biāo)準(zhǔn)壓強………………101325Pa控制顯示方式:本地顯示控制 特性:氣體混氣 2,工作要求 2.1氣體混氣儀器應(yīng)滿足以下工作環(huán)境要求: 工作電源: AC 185~265V,50Hz. 工作溫度:0~45℃ 相對濕度:≤90% 2.2進出口連接: 可以用1/4或6mm的316l(聚四氟)與氣源進行快速連接,并與采樣灌進行快速連接 3.特性: 兩元氣體混和裝置,利用多臺高精度MFC精密控制氣體混合比例,可以混出不同要求的氣體比 氣體混和精度不受起源壓力變化的影響 全耐腐蝕設(shè)計,適應(yīng)所有氣體混合(常溫?zé)o凝結(jié)) 調(diào)節(jié)精度優(yōu)于+-1%,混和精度優(yōu)于2% |
注冊資金:100萬-500萬
聯(lián)系人:陽女士
固話:028-83288011
移動手機:18030540956
企業(yè)地址:四川 成都市