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開發(fā)出了響應(yīng)性更高的AC伺服馬達(dá)“MINAS-A5”系列(圖)。響應(yīng)頻率較原來的1kHz提高了1倍,達(dá)到2kHz。嵌入制造半導(dǎo)體及液晶時(shí)使用的貼片機(jī)、探針及電子部件封裝機(jī)等裝置后,能夠使可動部迅速起動或停止。另外還對降低振動下了一番工夫,有助于縮短制造裝置的單件產(chǎn)品生產(chǎn)時(shí)間。
為了抑制振動,首先將轉(zhuǎn)子的極數(shù)增至10,減小了齒槽力矩。其次,通過內(nèi)置共振抑制濾波器和減振濾波器,將振動降到了原來的1/8。而且還在輕量化方面改進(jìn)了轉(zhuǎn)子和定子的設(shè)計(jì)和工藝,使重量比原來減輕了10~25%。注冊資金:100萬以下
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