圖像傳感器CCD光刻工藝烘烤烘箱類目 > 商鋪首頁 > 產品展示 > 常州市圖像傳感器ccd廠家_供應圖像傳感器CCD光刻工藝烘烤烘箱

供應圖像傳感器CCD光刻工藝烘烤烘箱

常州市圖像傳感器ccd廠家

價格： 電議

物流： 暫無物流地址| 買家支付運費

可銷售總量： 0件

手機： 15221744475 郵箱： sale@126.com

傳真： 021-37832075 地址： 江蘇常州市

在線詢盤聯(lián)系廠家：15221744475 021-37693997

在線詢盤

提交詢盤信息，一呼百應會為您匹配更多優(yōu)質、合適的供應商！

*采購產品：

信息不能為空！請?zhí)顚懀?/p>

*采購量/單位：

采購量不能為空！

*期望價格：

元

價格不能為空！

*報價截止日期：

截止日期不能為空！

*聯(lián)系人：

聯(lián)系人不能為空！

*聯(lián)系電話：

聯(lián)系電話不能為空！

我想要了解：

產品價格更多商品信息

請輸入您要咨詢的問題：

您的聯(lián)系方式：

郵箱：

手機：

詳細信息（供應圖像傳感器CCD光刻工藝烘烤烘箱）

在CCD（電荷耦合器件）制造過程中，顆粒沾污對CCD的薄膜質量、光刻圖形完整性等有很大的影響，降低CCD的成品率。CCD制造過程中的顆粒來源主要有兩個方面：一個制造過程中工藝環(huán)境產生的顆粒；另一個是薄膜的淀積、光刻和離子注入等CCD工藝過程中產生的顆粒。工藝環(huán)境的顆?？蓙碓从趬w、設施、設備、材料和人員，工藝過程的顆粒來源于易產生粉塵的工藝，比如說LPCVD淀積多晶硅和氮化硅及刻蝕工藝等。
本公司生產的COL-系列無塵烘箱，即使在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100，為CCD（電荷耦合器件）制造過程中烘烤提供潔凈環(huán)境，預防顆粒沾污
無塵烘箱特點：
1：全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；
2 ：采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產生 PARTICLE；
3：采平面水平由后向前送風后經美國進口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門
(特殊風道設計)方向送風，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)
技術參數：
1. 百級無塵烤箱型號:COL-2
2. 無塵烘箱工作尺寸(mm):W600×H600×D500
3. 溫度范圍：RT＋60℃～300℃
4. 無塵烤箱潔凈度：100級；
5. 溫度均勻性: ±1.5%
6. 波動度：±0.5℃
7. 電源：380V 50Hz 7.5KW；
8. 箱體材料：外箱采用 SS41# 中碳鋼板經皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵(PARTICLE),內室材料：采用SUS304＃無磁性鏡面不銹鋼,保溫材料：超細玻璃棉；
9. 空氣循環(huán)裝置：大容量軸流電機；
10. 加熱方式：不銹鋼電加熱器；
11. 溫度測量傳感器：Pt100 鉑電阻；
12. 控制儀表：進口數顯溫度控制器，PID調節(jié)，控制精度0.1℃；
13. 超溫保護儀表：獨立于工作室主控制的超溫保護系統(tǒng)，保證試驗品的安全；
14. 控制系統(tǒng)：主要電器件均采用斯耐德、歐姆龍等進口元氣件；
15. 排氣口：ф50；
16. 隔板：2層，不銹鋼方通，承重約30KG。
無塵烤箱熱線：021-37693997，15221744475 傳真:021-37832075聯(lián)系人：蔣鑫,
網站：www.done-e.com.
標簽：常州市圖像傳感器ccd 常州市圖像傳感器ccd廠家