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供應M2030VA氣體流量計熱式氣體質量流量計小流量氣體質量流量計

上海市氣體流量計廠家

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供應M2030VA氣體流量計熱式氣體質量流量計小流量氣體質量流量計

韓國萊因科技 ( LINE TECH ) 出品氣體質量流量計和氣體質量流量控制器，廣泛應用于真空鍍膜設備、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入，直拉式晶爐，精密半導體、燃料電池、氣調儲存保鮮相關設備、生物反應器、生物過程控制器、大學實驗室、研究所、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、醫(yī)療設備、氣相色譜儀等相關行業(yè)。產(chǎn)品設計堅固、耐用、易于操作且經(jīng)濟。

規(guī)格：

型號	M2030V
流量范圍（N2)	0.01~30 slpm
響應時間	＜2秒
度	±1%
重復精度	±0.25%
輸入輸出信號	0~5Vdc
供電	+15Vdc or +24Vdc,350mA
工作壓力	90 bar
工作溫度	0~50℃
漏率	1×10-9atm.cc/sec
控制范圍	2~