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旋片式真空泵以及其工作原理

   習(xí)慣上,旋片式真空泵是指通過排氣閥向大氣排氣,并至少形成低于0.1Torr壓強(qiáng)的潤(rùn)滑變?nèi)菡婵毡谩?br /> 工作原理 常用的泵有兩類:滑閥泵和旋片式真空泵。它們的抽氣原理相同。由于泵的轉(zhuǎn)子在泵軸上轉(zhuǎn)動(dòng),則在轉(zhuǎn)子和泵腔壁之間形成一個(gè)氣體自由空間。氣體進(jìn)入這個(gè)空間以平衡新產(chǎn)生的空間和空間上游之間的壓強(qiáng)。壓強(qiáng)差使氣休輸入泵的入口。當(dāng)泵的入口形成氣體自由空間時(shí),封閉在排氣腔內(nèi)的氣體被壓縮,并經(jīng)排氣閥排向大氣。
   排氣壓強(qiáng)與入口壓強(qiáng)之比稱為壓縮比(R=排氣壓強(qiáng)/入口壓強(qiáng))。排氣壓強(qiáng)一般恒定在1000Torr左右,并體現(xiàn)了由于大氣壓和排氣閥均彈黃張力形成的反壓。對(duì)極限壓強(qiáng)為。0.01Torr的單級(jí)旋片式真空泵而言,在無氣流的條件下所得到的壓縮比的極限值為100,000。
   因?yàn)榕艢忾y使大氣不能進(jìn)入壓縮腔,密封油的作用猶如一個(gè)液壓閥挺桿(當(dāng)氣休壓強(qiáng)低時(shí)),加之密封油完全充滿了排氣閥與轉(zhuǎn)子之間上死點(diǎn)位置間隙,所以達(dá)到高壓縮比是可能的。
   極限壓力 真空泵壓強(qiáng)降低的限制因素并不屬于其基本抽氣機(jī)理范圍,這種限制是空氣在潤(rùn)滑液中的溶解形成的。經(jīng)排氣閥排出的油又返回到油分離器中,然后,借助于大氣壓與泵內(nèi)工作壓強(qiáng)差的作用或隨送油的泵重新回到泵中。返回的油被空氣所飽和,即它由在標(biāo)準(zhǔn)條件下溶解的空氣體積帶回10-15%。于是,單級(jí)旋片式真空泵的極限壓強(qiáng)(空氣的分壓強(qiáng))一般為5 mTorr。小泵(101/s)有相當(dāng)大的油流率,因?yàn)樾”玫男×慵臋C(jī)械精度難于控制,機(jī)械誤差必須由更多的油最來補(bǔ)償。另外,油孔尺寸必須適當(dāng),以免堵塞。因此小泵的極限壓強(qiáng)一般稍高于10mTorr。極限壓強(qiáng)是用空氣的分壓強(qiáng)表示(Mc-Leod規(guī))。
   基于全壓強(qiáng)測(cè)最的極限壓強(qiáng)作為通用衡量標(biāo)準(zhǔn),這樣,就導(dǎo)致了較多的可變因素,如,油蒸氣(也涉及真空泵的溫度)、油污染的程度以及規(guī)新混合氣休的靈敏度等參數(shù)。好的真空泵潤(rùn)滑油的蒸氣壓在室溫下低于10-6 Torr,然而一旦真空泵工作起來,很難保持這樣低的蒸氣壓。局部的熱力學(xué)效應(yīng)使油的蒸氣壓至少增加兩個(gè)數(shù)量級(jí)。轉(zhuǎn)速低、冷卻良好的泵,其全壓強(qiáng)的是10mTorr,產(chǎn)生的蒸氣壓等丁5mTorr,在其他極高速空冷泵的蒸氣壓可以達(dá)到50 mTorr,而空氣的分壓強(qiáng)也只是5 mTorr。擴(kuò)散泵油,即使具有良好的潤(rùn)滑性能,用于旋片式真空泵時(shí)也不會(huì)出現(xiàn)低的蒸氣壓。有些不常用的潤(rùn)滑液,如合成脂、聚二醉、碳氟化合物油、三鹽脂、硅油也同樣如此。
   由于空氣的溶解程度限制了單級(jí)泵低壓強(qiáng)下的性能,因此從潤(rùn)滑油中去除空氣.能提高泵在低壓強(qiáng)下的性能。
   對(duì)同一個(gè)泵體中,兩級(jí)串聯(lián)的泵,可以提供有效的放氣。級(jí)由一個(gè)獨(dú)立的儲(chǔ)油池潤(rùn)滑,該油池由大氣級(jí)保持放氣狀態(tài)(無空氣)。高真空儲(chǔ)油池的油位由第二級(jí)滋起的油來維持。而級(jí)的油循環(huán)率是靠只有幾英寸的液位差來維持的。因此,油的循環(huán)率很低,放氣作用不再限制低壓強(qiáng)下的性能。雙級(jí)泵入口的空氣分幾弧通常約為10-5 Torr,極限全壓強(qiáng)約為1 mTorr,這取決于泵的工作溫度及泵對(duì)潤(rùn)滑油穩(wěn)定性影響的機(jī)構(gòu)。大氣級(jí)的排氣作用有助于維持高真空級(jí)中無油的輕分鎦物.
   抽速 與其他氣體泵中的情況一樣,真空泵入口愉運(yùn)氣體的速串就是它的抽速。由泵的幾何條件可獲得排氣是《轉(zhuǎn)速乘以掃過的體積》,并可測(cè)出抽速。其容積效率.排氣量小于50L/s的泵為80%,而較大的泵為90%。
   結(jié)構(gòu)不同的泵,在極限壓強(qiáng)附近的抽速可能是不同的。單級(jí)泵對(duì)油的流率和工作溫度比較敏感,而雙級(jí)泵對(duì)級(jí)間比較敏感。
   級(jí)間比是高真空級(jí)的排氣盆與大氣級(jí)的排氣璧之比。對(duì)所有氣休和蒸氣都具有相同的抽速,只要蒸氣在泵油中的溶解度與空氣的相似并在壓縮周期中不凝結(jié)。換言之,抽速與氣休的密度無關(guān)。雙級(jí)泵很少用于低于1 mT orr的工作壓強(qiáng)范圍,它的性能曲線常常終止在
0.1 mTorr

  功率 真空泵所做的壓縮功可近似為一個(gè)理想絕熱壓縮過程。
 氣鎮(zhèn)的使用造成低壓強(qiáng)下功率的增加。有10~15%氣鎮(zhèn)流時(shí),所需功率接近電機(jī)的額定功率.由于常常不公布功本曲線,該曲線可以通過計(jì)算壓縮氣休所做的理論功再加上假定的摩擦功來確定。假定單級(jí)泵的摩擦損失是推薦的電機(jī)額定功率的50%。雙級(jí)泉為30%是合理的,油的粘度可能造成一些差異,但在正常工作條件下,油膜溫度高,拈度影響不明顯。另外,在溫度低于5度時(shí),啟動(dòng)泵是困難的,除非加熱和使用低溫潤(rùn)滑劑。
   單級(jí)真空泵和雙級(jí)真空泵 單級(jí)泵和雙級(jí)泵的潤(rùn)滑方法的基本區(qū)別是它們的適用范圍不同。與其說雙級(jí)泵的本身具有產(chǎn)生低極限壓強(qiáng)的能力,不如說雙級(jí)泵中有效的分餾作用使其更適于在低壓強(qiáng)(低于1Torr)下工作。
   油分解產(chǎn)生的污染最終要出現(xiàn)在大氣級(jí)的油中,并且它對(duì)級(jí)性能的影響是不太大的,這意味著兩次換油之間相當(dāng)長(zhǎng)的時(shí)間內(nèi)可以滿意地工作。使用氣鎮(zhèn)有助于得到使油凈化的效果,而在泵的入口處,只會(huì)增加千分之幾Torr的空氣分壓強(qiáng),同時(shí)降低了工作噪聲。即使沒有氣鎮(zhèn),雙級(jí)泵的噪聲水平一般也比單級(jí)泵低。大氣級(jí)的高油流率產(chǎn)生的液壓噪聲,在高真空級(jí)是不存在的。低的油流率使得雙級(jí)泵適于低壓強(qiáng)下工作,而不適于在高壓強(qiáng)下持續(xù)工作。
   對(duì)于大的氣體質(zhì)量流,當(dāng)高真空級(jí)儲(chǔ)油池的油耗盡時(shí),面對(duì)強(qiáng)氣流,油是無法反濺流入泵腔中的。所以,當(dāng)必須在高壓強(qiáng)(約10Torr以上)下持續(xù)工作時(shí),應(yīng)強(qiáng)制性地提供油,以進(jìn)行潤(rùn)滑。
   單級(jí)旋片式真空泵的潤(rùn)滑系統(tǒng)是原于差壓原理,它在低于500~600Torr的壓強(qiáng)下,就能很好地工作。當(dāng)入口壓強(qiáng)較高時(shí),油路的氣體反流阻止了油的流動(dòng),只有強(qiáng)制性供油才能在500Torr以上的壓強(qiáng)下連續(xù)工作。在必須處理大質(zhì)量流率時(shí),單級(jí)泵通常要考慮設(shè)置油氣分離器。    足夠的儲(chǔ)油不僅減少了換油次數(shù),而且提供了塵拉污染物和可分離液體的沉淀空間。
   葉片泵和滑閥泵的比較 實(shí)際的葉片泵的結(jié)構(gòu)是設(shè)計(jì)得動(dòng)平衡的。其轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)中心在軸的中心,葉片的質(zhì)皿很小,不會(huì)明顯地形響泵的振動(dòng)特性。旋轉(zhuǎn)一周(雙葉片泵)時(shí),抽氣體積(允許壓縮的空間)被掃過兩次。葉片頂部對(duì)缸壁的壓力很高,尤其高速泵,摩擦作用很明顯。關(guān)鍵尺寸是轉(zhuǎn)子和定子之間的密封處,該處將吸氣口與排氣口漢開。密封處兩側(cè)的壓力差很大,必須保持盡覓小的間隙。實(shí)際上這意味著間隙小于0.025mm,這是不容易制造的。為了便于修理,一些泵在初次測(cè)試后,就用銷釘定位,使得以后拆裝方便。對(duì)無銷釘定位的泵,通常需到原制造廠修理。彈簧對(duì)葉片加載,使其與缸壁緊密接觸,以有助于在停泵時(shí)保持某種程度的真空。汕從大氣級(jí)愉送到高真空級(jí)是緩慢的,這樣,在迅速工作過程中,壓力恢復(fù)得相當(dāng)慢。尤其在真空下停泵時(shí),油可能浸入真空泵。為了防止這種悄況,使用了各種機(jī)械的截油裝置。小型葉片泵浸泡在油池中,主要起真空密封和降低噪聲的作用。對(duì)大型泵,若要用油浸,則體積太大,因此,噪聲明顯增加。由于沒有平尚限制,使用高的級(jí)間比的泵是可行的,并且,對(duì)合成的排氣管的阻礙是小的。因此,雙級(jí)泵流行起來,但高的級(jí)間比的缺點(diǎn)是處理水蒸氣的能力低,并且因高的級(jí)間壓縮比必須以高的氣鎖流來作部分補(bǔ)償時(shí),工作噪聲相當(dāng)大。
   滑閥泵是一種非常耐用的機(jī)器。由偏心輪帶動(dòng)滑閥沿缸壁轉(zhuǎn)動(dòng),在其前面被推動(dòng)的大量油形成大面積的密封面,使其機(jī)械損壞影響不大。除了滑閥以外,機(jī)構(gòu)對(duì)磨損可自動(dòng)補(bǔ)償。同時(shí)機(jī)鉤存在固有的不平衡,振動(dòng)程度可根據(jù)所采用的平衡方法進(jìn)行適當(dāng)控制.滑閥泵不用油浸密封,其油流是通過易于接近的油路中的自動(dòng)控制閥控制的。這種泵的真空保持性不好,因滑閥與缸壁的睜止接觸弱。沒有氣鎮(zhèn)的滑閥泵工作噪聲比同尺寸的葉片泵(尤其浸在油中的泵)的稍大些。但使用氣鎮(zhèn)時(shí),滑風(fēng)泵的工作噪聲要低些。因泵內(nèi)抽氣機(jī)構(gòu)使內(nèi)部引起大量的油飛濺,因此雙級(jí)泵在迅速循環(huán)中的恢復(fù)時(shí)間短。然而,如果不做必要的改進(jìn),雙級(jí)滑閥泵在高壓強(qiáng)下長(zhǎng)期工作也是不理想的。

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