供應(yīng)表面異物分析是什么意思未知物分析表面異物分析報價報告

儀器名稱

信號檢測

元素測定

檢測限

深度分辨率

適用范圍

掃描電子顯微鏡（SEM）

二次及背向散射電子&X射線

B-U (EDS mode)

0.1 - 1 at%

0.5 - 3 ?m (EDS)

高辨析率成像

元素微觀分析及顆粒特征化描述

X射線能譜儀（EDS）

二次背向散射電子&X射線

B-U

0.1 – 1 at%

0.5 – 3 μm

小面積上的成像與元素組成；缺陷處元素的識別/繪圖；顆粒分析（>300nm）

顯微紅外顯微鏡（FTIR）

紅外線吸收

分子群

0.1 - 1 wt%

0.1 - 2.5 ?m

污染物分析中識別有機化合物的分子結(jié)構(gòu)

識別有機顆粒、粉末、薄膜及液體（材料識別）

量化硅中氧和氫以及氮化硅晶圓中的氫 （Si-H vs. N-H）

污染物分析（析取、除過氣的產(chǎn)品，殘余物）

拉曼光譜（Raman）

拉曼散射

化學(xué)及分子鍵聯(lián)資料

>=1 wt%

共焦模式
1到5 ?m

為污染物分析、材料分類以及張力力測量而識別有機和無機化合物的分子結(jié)構(gòu)

拉曼，碳層特征 （石墨、金剛石 ）

非共價鍵聯(lián)壓焊(復(fù)合體、金屬鍵聯(lián))

定位(隨機v. 有組織的結(jié)構(gòu))

俄歇電子能譜儀（AES）

來自表面附近的Auger電子

Li-U

0.1-1%亞單層

20 – 200 ?側(cè)面分布模式

缺陷分析；顆粒分析；表面分析；小面積深度剖面；薄膜成分分析

X射線光電子能譜儀（XPS）

來自表面原子附近的光電子

Li-U化學(xué)鍵聯(lián)信息

0.01 - 1 at% sub-moner

20 - 200 ?（剖析模式）
10 - 100 ? (表面分析）

有機材料、無機材料、污點、殘留物的表面分析

測量表面成分及化學(xué)狀態(tài)信息

薄膜成份的深度剖面

硅 氧氮化物厚度和測量劑量

薄膜氧化物厚度測量（SiO2, Al2O3 等.）

飛行時間二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS）

分子和元素種類

整個周期表，加分子種類

107 - 1010 at/cm2 sub-

1 - 3 mon

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有機材料和無機材料的表面微量分析

來自表面的大量光譜

表面離子成像