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供應氣體質(zhì)量流量計

成都市氣體質(zhì)量流量計廠家

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  萊峰科技榮譽出品
  模擬式系列LF400-S（小體積型）
氣體質(zhì)量流量控制器/流量計技術說明書
1、用途和特點
氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Cooller ）/氣體質(zhì)量流量計(Mass Flow Meter)可以對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。它在多個領域的科研和生產(chǎn)中有著重要而廣泛的應用。
對產(chǎn)品性能和生產(chǎn)工藝的不斷改進，質(zhì)量流量控制器具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、穩(wěn)定可靠、工作壓力范圍寬等（可以使用在高壓及真空系統(tǒng)）特點。操作使用方便，可任意位置安裝，配合流量顯示儀或其他流量控制器顯示儀使用，也可直接同計算機實現(xiàn)RS-232各和RS-485 連接，非常方便的實現(xiàn)自動控制。它也可以作為氣體質(zhì)量流量計使用。

注意：
本公司產(chǎn)品采用中華人民共和國電子行業(yè)標準SJ/T10583-94 以及SJ37 所規(guī)定的通用技術條件和命名方法。
質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮氣（N2）標定。
質(zhì)量流量的單位規(guī)定為:   SCCM (標準毫升/分);
SLM (標準升/分)
標準狀態(tài)規(guī)定為:         溫度 ---273.15K ( 0℃ );
氣壓 —- 101325 Pa (760mm Hg)
F.S (Full Scale):       滿量程值

主要技術指標:

功能		流量計/控制器
基本型號		LF400
滿量程流量范圍(N2)	SCCM	0～5，10，20，30，50，100，200，500
	SLM	- 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
精度(％F.S)		±1(≤15SLM)
		±1.5(＞15SLM)
控制閥動作型式		常閉式
線性(％F.S.)		±0.5～1(≤15SLM)
		±2％(＞15SLM.)
重復精度(％F.S.)		±0.2
響應時間(sec)		≤1
流量輸出信號		0-+5V,4-20MA
流量設定信號		0-+5V,4-20MA
電器接頭		DB15 pin(接頭),DB14 pin(接頭),DB9 pin(接頭)
工作環(huán)境溫度	(℃)	5～45
工作壓差	(MPa)	0.05～0.5
漏率	SCCSHe	1×10-9
耐壓		3MPa,10MPa
介質(zhì)接觸材質(zhì)		304，316，316L

密封材料	氟橡膠，硅橡膠，橡膠，聚四氟乙烯,金屬密封
接頭尺寸	VCR 1/4”，1/2”
	Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
電源要求	+15V,50mA;-15V,200mA
重量	1.2KG