Aerotech精密轉(zhuǎn)臺

Aerotech直驅(qū)機械軸承旋轉(zhuǎn)平臺

Aerotech ADRT直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺

1.高扭矩輸出，直驅(qū)無刷伺服電機
2.無接頭設(shè)計，速度穩(wěn)定性突出
3.突出的抖動和跳動性能
4.直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器
5.寬大的通孔直徑
直徑 146 - 260 mm
精度 ±30 arc sec
負載 30 - 173 kg

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Aerotech ADRS直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺

1.高扭矩輸出，直驅(qū)無刷伺服電機
2.無接頭無槽電機設(shè)計，速度穩(wěn)定性突出
3.直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器
4.超低的外形將工作高度減到最小
直徑 95 - 190 mm
精度 6 arc sec
負載 16.9 - 56.2 lb

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Aerotech ARMS直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺

1.設(shè)計來生成高運動
2.在全部360°范圍都能達到0.0001%速度穩(wěn)定性
3.定位分辨率0.02角秒
4.有效負載230 kg
5.完整的導(dǎo)電環(huán)和不固定的旋轉(zhuǎn)管套節(jié)
6.可選直驅(qū)無刷電機以實現(xiàn)高轉(zhuǎn)速和高扭矩輸出
孔徑 8 mm - 25 mm
分辨率 0.02 - 2 arc sec
精度 ±2.5 arc sec

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AAerotech  LAR直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺

1.5種不同的孔徑尺寸：100 mm, 150 mm, 200 mm, 250 mm, 325 mm
2.持續(xù)或有限的行程
3.300-1000 lb的高軸向負載能力
4.寬大的軸承能提供較高的有效負載和瞬間負載能力
5.的精度和重復(fù)定位精度
6.抖動和跳動小
7.無接頭電機提供平滑運動
8.無回差效應(yīng)
9.精度不隨齒輪的磨損而改變
10.每分鐘45-300轉(zhuǎn)的持續(xù)轉(zhuǎn)速
11.有效負載必須在旋轉(zhuǎn)中心的應(yīng)用的選擇， AZ滾動萬向架應(yīng)用的重要選擇
12.10-6 torr真空環(huán)境選項可選
孔徑 325 mm
精度 ±3.9 arc sec
負載 6463 N

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Aerotech  ADR175/240直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺

1.直驅(qū)無刷伺服電機
2.無接頭設(shè)計，速度穩(wěn)定性突出
3.突出的抖動和跳動性能
4.直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器
5.高精度角接觸軸承
直徑 175 mm
精度 ±5 arc sec
負載 25 kg
直徑 240 mm
精度 ±1 arc sec
負載 135 kg

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Aerotech  ADR160直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺

1.直驅(qū)無刷伺服電機
2.無接頭設(shè)計，速度穩(wěn)定性突出
3.突出的抖動和跳動性能
4.直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器
5.高精度角接觸軸承
直徑 160 mm
精度 ±5 arc sec
負載 25 kg

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Aerotech ARA1000旋轉(zhuǎn)執(zhí)行器

1.高負荷傳送能力
2.高剛性
3.直驅(qū)無刷無槽伺服電機
4.寬大的孔徑
5.配置L1000很容易實現(xiàn)多軸的應(yīng)用
直徑 342.9 mm
精度 ±2 arc sec
負載 45 kg

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ADR75直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺

1.直驅(qū)無刷伺服電機
2.無接頭設(shè)計，速度穩(wěn)定性突出
3.突出的抖動和跳動性能
4.直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器
5.高精度角接觸軸承
直徑 75 mm
精度 ±5 arc sec
負載 3 kg

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Aerotech  ASR1000直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺

1.精度高,動態(tài)性能好
2.方便產(chǎn)品進給和通過的大孔徑
3.低慣量軸可以實現(xiàn)的加速度
4.化包裝設(shè)計使平臺重量最小
5.直驅(qū)無刷伺服電機
6.直聯(lián)旋轉(zhuǎn)編碼器
7.高精度角接觸軸承
直徑 19 mm
精度 ±15 arc sec
負載 3.0 kg

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Aerotech  AS00直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺

1.完整的氣動套爪卡盤
2.ER16夾頭接受0.5 mm to 10 mm外經(jīng)的管
3.通孔適合產(chǎn)品進給和通過
4.有刻線的夾頭保持器能快速更換
5.常閉夾頭配置
6.低慣量軸可以實現(xiàn)的加速度
7.直驅(qū)無刷電機和編碼器
8.免維護,無摩擦旋轉(zhuǎn)連接
孔徑 14 mm
精度 ±15 arc sec
負載 3 kg

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Aerotech  AS00直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺

1.ER16夾頭可夾外經(jīng)到到5.8 mm的管
2.集成的可更換O形圈的水套適合濕加工應(yīng)用
3.通孔方便產(chǎn)品進給和通過
4.有刻線的夾頭保持器能快速更換
5.低慣量軸可以實現(xiàn)的加速度
6.直驅(qū)無刷電機和編碼器
7.免維護,無摩擦旋轉(zhuǎn)連接
孔徑 5.8 mm
精度 ±15 arc sec
負載 3 kg

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Aerotech  ACS旋轉(zhuǎn)平臺

1.集成氣動ER夾頭和卡盤或3瓜卡盤.
2.通孔方便產(chǎn)品進給和通過
3.常閉或常開夾子選項
4.低慣量軸可以實現(xiàn)的加速度
5.直驅(qū)無刷電機和編碼器
6.完整的旋轉(zhuǎn)連接
孔徑 30 mm
精度 ±15 arc sec
負載 140 kg

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Aerotech  ACS LP系列旋轉(zhuǎn)平臺

1.完整的氣動ER套爪卡盤
2.通孔方便產(chǎn)品進給和通過
3.低慣量軸可以實現(xiàn)的加速度
4.完整的旋轉(zhuǎn)連接
5.超低的外形將工作高度減到最小
孔徑 30 mm
精度 ±6 arc sec
負載 41 kg

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ADRH直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺

1.低外形適合對空間敏感的應(yīng)用場合
2.直驅(qū)無刷無槽伺服電機
3.直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器
直徑 104.8 mm
分辨率 3.6 arc sec
轉(zhuǎn)速 2500 rpm

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Aerotech   ANT-20RA 旋轉(zhuǎn)執(zhí)行器

1.0.045角秒的分辨率
2.緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計
3.巨大的轉(zhuǎn)角范圍
4.非接觸直接驅(qū)動
5.高轉(zhuǎn)速和高分辨率
6.的定位穩(wěn)定性
7.免維護
8.20度的行程轉(zhuǎn)角
精度 ±10 arc sec
負載 2.5 kg

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WaferMax T 旋轉(zhuǎn)平臺

1.低外形適合對空間敏感的應(yīng)用場合
2.直驅(qū)無刷無槽伺服電機
3.直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器
4.25毫米孔徑

Aerotech 2軸氣浮平臺

Aerotech  ABL1000氣浮平臺

1 專為高性能校準和裝配應(yīng)用設(shè)計
2 分辨率達2nm的直線編碼器反饋
3 閉環(huán)分辨率可達1nm(使用A3200控制器)
4 全預(yù)加負載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
5 低噪音線性放大器
6 全部非接觸設(shè)計
行程 ≤150 mm
精度 ±0.20 um
重復(fù)定位精度 ±0.05 um
直線度 ±0.25 um
平面度 ±0.25 um

Aerotech  ABL3600氣浮平臺

1 專為掃描顯微鏡/掩模/晶片檢測獨特應(yīng)用設(shè)計
2 雙軸,大孔,開放式結(jié)構(gòu)
3 非接觸直線編碼器反饋,精度高
4 雙直線電機驅(qū)動X Y 軸
5 所有軸全預(yù)加負載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
行程 ≤250 mm
精度 ±1 um
重復(fù)定位精度 ±0.20 um
直線度 ±0.50 um
平面度 ±1 um

Aerotech ABL8000氣浮平臺

1 專為有效負載大,負載重心偏離機架中心線的應(yīng)用設(shè)計
2 十字交叉結(jié)構(gòu),剛性穩(wěn)定性引人注目,幾何特性極好
3 所有軸全預(yù)加負載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
4 行程達1米
5 直線編碼器或激光干涉儀反饋
6 可集成包括花崗巖的XY子系統(tǒng)
行程 ≤1000 mm
精度 ±0.50 um
重復(fù)定位精度 ±0.20 um
直線度 ±0.40 um
平面度 ±0.40 um

Aerotech  ABL9000氣浮平臺

1 世上性能的氣浮平臺,適用于晶片,平板顯示,光學(xué)檢測和加工等要求苛刻的場合
2 所有軸全預(yù)加負載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
3 行程達1.2米X1.2米
4 Y軸雙直線電機驅(qū)動
5 直線編碼器或激光干涉儀反饋
6 主動控制偏轉(zhuǎn)
行程 ≤1200 mm
精度 ±0.50 um
重復(fù)定位精度 ±0.10 um
直線度 ±0.50 um
平面度 ±0.50 um

Aerotech  L9000直線電機平臺

1 專為晶片檢測，平板顯示加工和光學(xué)檢測及制造應(yīng)用設(shè)計
2 掃描軸是空氣軸承，步進軸是機械軸承
3 行程達1.2米X1.2米
4 雙直線電機驅(qū)動步進軸
5 直線編碼器或激光干涉儀反饋
行程 ≤350 mm
精度 ±1.0 um
重復(fù)定位精度 ±0.20 um
直線度 ±0.60 um
平面度 ±0.60 um

Aerotech  ABG10000氣浮平臺

1 氣浮導(dǎo)軌實現(xiàn)超平滑運動
2 所有軸都預(yù)加載荷
3 下面軸采用雙無刷直線伺服電機驅(qū)動
3 行程達1 m x 1 m
4 非接觸直線編碼器(光柵)
5 可選Z 軸,隔振,機械底座和控制箱
6 適用于高速拾取/放置,自動化裝配,視覺檢測,點膠機,高精度檢測．
Trel 行程 ≤1000 mm
Accuracy 精度 ±2.0 um
Load 負載 84 kg

Aerotech  FiberCouple 130平臺

1 同一條導(dǎo)軌上兩個運動平臺
2 獨立或并列運動
3 2.5nm分辨率
4 非接觸直線電機驅(qū)動
5 交鑰匙的配套驅(qū)動和控制系統(tǒng)
6 適合輔助軸

Aerotech VascuLathe ACS/ASR

1.直線平臺與旋轉(zhuǎn)平臺的高度集成化
2.ER筒夾系統(tǒng)使材料箝位自動化
3.可選夾緊裝置夾緊管
4 的控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)
5.單或雙主軸結(jié)構(gòu)
6.可選擇濕切割
7.擁有兩項Patent No. 7,038,334 Patent No. 7,105,956

Aerotech LaserTurn

1.直線平臺與旋轉(zhuǎn)平臺的高度集成化
2.氣動3爪卡盤或ER筒夾
3.較大的通孔可以使產(chǎn)品通過
4.可選擇在前后加工的平臺
5.直接驅(qū)動直線和旋轉(zhuǎn)電機技術(shù)

Aerotech PlanarHD氣浮平臺

1 2 m/s掃描速度和5g加速度的輸出
2 最快的轉(zhuǎn)向和最小的穩(wěn)定時間
3 主動偏轉(zhuǎn)控制
4 直線光柵或激光干涉儀反饋
5 行程1.2 m x 1.2 m

行程 ≤12 00 mm
精度 ±300 nm
重復(fù)定位精度 ±50 nm
分辨率 0.25 nm

Aerotech APT 系列平轉(zhuǎn)和傾斜組合轉(zhuǎn)臺

1 滿足安全，國防建設(shè)和監(jiān)測市場的需要
2 把的高精密機械與業(yè)界的控制技術(shù)結(jié)合在一起
3 慣性穩(wěn)定
4 包含內(nèi)置滑環(huán)，可連續(xù)旋轉(zhuǎn)360 °
5 高定位精度和速度性能
6 易于安裝和系統(tǒng)集成的集成電路
7 低維護，高可靠性提供的擁有成本
平轉(zhuǎn)： 速度180 ° /秒，持續(xù)360 °
傾斜： 速度180 ° /秒，范圍為± 95 °
位置分辨率：7.6弧秒
定位精度： 120弧秒
有效載荷： 35公斤

Aerotech AOM360D

1兩軸均360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)

2軸定位精度和重復(fù)性高

3軸抖動小,正交性好

4直驅(qū)無刷伺服電機

5高精度感應(yīng)反饋

6無嵌齒效應(yīng)設(shè)計,突出的速度穩(wěn)定性

7負載直徑達500毫米

8真空兼容機型可選

分辨率.27µrad

孔徑范圍203.2mm-508.0mm

負載7.0kg-50.0kg