供應(yīng)離子注入機(jī)備品備件維修如Varian E500
上海市備品備件廠家
價(jià)格： 電議
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上海財(cái)盈電子有限公司于2005年1月成立，緊靠上海閔行莘莊，有半導(dǎo)體設(shè)備電源，直流電源RF GENERATOR、 MICROWE POWER SOURCEAE微波發(fā)生器維修。
1、半導(dǎo)體制造、LED光電材料、太陽能、平板顯示、汽車電子等行業(yè)的離子注入、擴(kuò)散、光刻、PVD物相沉積，CVD 化學(xué)氣相沉積，PECVD等離子增強(qiáng)化學(xué)氣象沉積，濺射薄膜、蝕刻 等工藝。
2、 HV PSU高壓電源、DC PSU大功率直流電源、RF Generator射頻電源、MICROWE POWER SOURCEAE微波發(fā)生
器、觸摸屏人機(jī)界面、PCB板，涉及設(shè)備品牌有AE（Advanced Energy)、ENI(MKS)、DAIHEN、SEREN、Glassman、
Spellman、LAMBDA、SORENSEN、Delta、AMAT、Nikon、Varian、Lam、Nissin、ASML等。
3、維修機(jī)臺(tái)涉及Lam9400、Lam9100、Varian E500,、Varian E200、AMAT PI9500、PI9200、XR80, Nissin Exceed2000、Axcelis/EATON NV6200、PVD、CVD、PECVD、濺射鍍膜設(shè)備等。
公司配備維修、檢測和負(fù)載測試工具，有多年的豐富維修經(jīng)驗(yàn)工程師隊(duì)伍，質(zhì)量可靠，價(jià)格合理，提供保修，
維修前先訂合同，確認(rèn)后再維修。部分型號可提供備品應(yīng)急。
| Ext Supp PSU | E11000024 |
| E500 GAUGE COOLLER | E11000070 |
| Quad #1 PSU | E11000092 |
| Uniformity Cooller | E11001010 |
| Dose cooller | E11001033 |
| Acc Supp PSU | E11001040 |
| Acc Supp PSU | E11001041 |
| LINEAR MOTOR SERVO COOLLER | E11001062 |
| E500 GAUGE COOLLER | E11003713 |
| 3 meter Gauge cooller | E11003713 |
| ACC PSU | E11005370 |
| Oven PSU | E11038044 |
| Ext Supp PSU | E11044810 |
| SRC Magnet Polarity SW | E11057640 |
| Gas flow cool PCB | E15001670 |
| Fiber cool board | E15002350 |
| Fiber cool board(Ext) | E15002364 |
| Multi vacuum gauge cool PCB | E15002390 |
| In-Vac profiler I/F PCB | E15009900 |
| E500 Arc PSU | E19000462 |
| SCAN GENERATOR | E19000790 |
| Servo Disc DC motor | E19007100 |
| D1 isolation transformer | E19007910 |
| Power Generator | E55000003 |
| 型號 | 電壓 | 電流 | 功率 | 型號 | 電壓 | 電流 | 功率 | |
| XFR 6-200 | 0-6 | 0-200 | 1200 | XFR 7,5-300 | 0-7,5 | 0-300 | 2250 | |
| XFR 7,5-140 | 0-7,5 | 0-140 | 1050 | XFR 12-220 | 0-12 | 0-220 | 2640 | |
| XFR 12-100 | 0-12 | 0-100 | 1200 | XFR 20-130 | 0-20 | 0-130 | 2600 | |
| XFR 20-60 | 0-20 | 0-60 | 1200 | XFR 33-85 | 0-33 | 0-85 | 2085 | |
| XFR 35-35 | 0-35 | 0-35 | 1225 | XFR 40-70 | 0-40 | 0-70 | 2800 | |
| XFR 40-30 | 0-40 | 0-30 | 1200 | XFR 60-46 | 0-60 | 0-46 | 2760 | |
| XFR 60-20 | 0-60 | 0-20 | 1200 | XFR 100-28 | 0-100 | 0-28 | 2800 | |
| XFR 100-12 | 0-100 | 0-12 | 1200 | XFR 150-18 | 0-150 | 0-18 | 2700 | |
| XFR 150-8 | 0-150 | 0-8 | 1200 | XFR 300-9 | 0-300 | 0-9 | 2700 | |
| XFR 300-4 | 0-300 | 0-4 | 1200 | XFR 600-4 | 0-600 | 0-4 | 2400 | |
| XFR 600-2 | 0-600 | 0-2 | 1200 | |||||
上海財(cái)盈電子有限公司
注冊資金：100萬以下
聯(lián)系人：張經(jīng)理
固話：021-54156739
移動(dòng)手機(jī)：13636586891
企業(yè)地址：上海市 上海市 閔行區(qū)
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