冰巖激光調(diào)阻機(jī)

武漢激光調(diào)阻機(jī)電阻修刻應(yīng)用范圍

武漢激光調(diào)阻機(jī)在汽車壓力傳感器生產(chǎn)中，傳統(tǒng)工藝是首先把厚膜電阻片激光修調(diào)到所需要的線性值，然后在組裝在壓力傳感器上面使用，一方面由于壓力傳感器的彈簧，滑片，接觸電阻，壓片位置等因素在厚膜電阻片安裝在壓力傳感器上后，常常由于多種誤差因素的存在，導(dǎo)致調(diào)節(jié)的厚膜電阻不適合，需要每次都調(diào)節(jié)壓片彈簧。費(fèi)時(shí)費(fèi)力費(fèi)人工，采用激光在線修調(diào)后，就不必考慮這個(gè)因素，首先把沒有調(diào)節(jié)的厚膜電阻片直接安裝在壓力傳感器上，然后由設(shè)備統(tǒng)一測(cè)量，經(jīng)過數(shù)據(jù)運(yùn)算后再激光修刻，一次即可完成，省去人工的成本，大大提高傳感器的生產(chǎn)效率。

武漢激光調(diào)阻機(jī)激光調(diào)阻系統(tǒng)及修調(diào)技術(shù)機(jī)理 　

　  武漢激光調(diào)阻機(jī)激光修調(diào)是把一束聚焦的相干光在微機(jī)的控制下定位到工件上，使工件待調(diào)部分的膜層氣化切除以達(dá)到規(guī)定參數(shù)或阻值。調(diào)阻時(shí)局部溫升使玻璃熔化，氣化部分阻值槽邊緣受到玻璃覆蓋，可填平基體表面被切割的介質(zhì)。的激光修調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用了大量的LSI、VLSI電路，以大部分的軟件操作代替許多硬件功能。核心部分是通過硬件直接與激光器、光束定位、分步重復(fù)及測(cè)量等系統(tǒng)相連接。測(cè)量系統(tǒng)由精密電橋和矩陣組合的無(wú)源網(wǎng)絡(luò)組成。的激光修調(diào)系統(tǒng)具有多種修調(diào)功能，可以修調(diào)混合集成電路、厚薄膜電阻器網(wǎng)絡(luò)、電容網(wǎng)絡(luò)、瓷基薄膜集成元件，還可以修調(diào)D/A和A/D轉(zhuǎn)換器的精度，V/F轉(zhuǎn)換器的頻率，有源濾波器的零點(diǎn)頻率及運(yùn)算放大器的失調(diào)電壓等。 　　

武漢激光調(diào)阻機(jī)的激光修調(diào)系統(tǒng)主要包括以下幾個(gè)部分： 　　

（1） 激光器部分 　    

采用半導(dǎo)體激勵(lì)Nd:YAG激光器，高頻Q控制開關(guān)，厚膜修調(diào)最小光斑達(dá)20μm，脈沖重復(fù)頻率為500Hz～50kHz。

采用光纖激光器，高單脈沖能量，最小光斑達(dá)10μm，脈沖重復(fù)頻率10-100 kHz。

采用端面泵浦半導(dǎo)體激光器，高頻Q控制開關(guān)，最小光斑達(dá)8μm，脈沖重復(fù)頻率1-100KHz,高瞬間脈沖能量，厚膜修阻更靜，溫漂更小。

采用綠光激光器或者紫外激光器，可以加工更精密的電阻，刻線精細(xì)，其中紫外為冷加工，零溫漂使電阻更穩(wěn)定，效果?！?/span>

（2） 光束定位系統(tǒng) 　　

采用振鏡式高速線性馬達(dá)，提高定位速度和精度。 

（3） 視頻監(jiān)視系統(tǒng)     

采用光學(xué)反射系統(tǒng)以及高清攝像系統(tǒng)，融合光束和攝像為同軸，視頻跟隨光斑移動(dòng)，便于激光定位和監(jiān)視。

（4） 修調(diào)設(shè)定器

它直接與激光器、光束定位器、分步重復(fù)臺(tái)及測(cè)量系統(tǒng)相聯(lián)接。它可以通過程序改變刻蝕尺寸，改變切割的修調(diào)方向，決定阻值變化，而不影響精度。另外，還具有自動(dòng)校正功能，在長(zhǎng)期工作時(shí)可使修調(diào)設(shè)定值保持穩(wěn)定。 　

（5） 阻值及電壓測(cè)定裝置 　　

采用精密電橋和矩陣組合的測(cè)試無(wú)源網(wǎng)絡(luò)，阻值測(cè)量精度可達(dá)0.5％，測(cè)量時(shí)間僅為5ms。這種設(shè)計(jì)可以防止外界干擾，且由于采用差動(dòng)測(cè)量，自動(dòng)偏離及極性轉(zhuǎn)換，還可用來(lái)測(cè)定有源電路修調(diào)時(shí)的直流電壓。 　　

武漢激光調(diào)阻機(jī)修刻方式主要有以下幾種： 　

（1）單刀切割電阻法 　　

（2）雙刀切割電阻法 　　

（3）L型刀口切割電阻法 　　

（4）交叉對(duì)切電阻法 　　

（5）曲線型L刀口的切法 　　

（6）曲線型U型刀口的切法 　　

在實(shí)際工作中，主要應(yīng)用的是前4種，對(duì)于不同的電阻應(yīng)根據(jù)其方數(shù)的不同選擇不同的刀口。其中雙切和L型刀口最為常用，而且調(diào)過的阻值穩(wěn)定性好。

武漢激光調(diào)阻機(jī)BY-DZ系列半導(dǎo)體激光調(diào)阻機(jī)主要技術(shù)參數(shù)

　　型號(hào) BY-CBDZ50W

　　激光功率 50W

　　激光波長(zhǎng) 1064nm

　　光束質(zhì)量 ﹤3

　　激光重復(fù)頻率 ≤1-50KHz

　　打標(biāo)范圍 70mm×70mm

　　修刻線速 ≤6000mm/秒

　　修刻深度 ≤0.01-1mm(使材料定)

　　電力需求 220V/單相、50HZ/10A

　　整機(jī)耗電 ≤1200W

　　整機(jī)免維護(hù)時(shí)間 10000小時(shí)

　　冷卻方式 水冷卻

　　結(jié)構(gòu) 分體式

　　光束定位

　　類型：閉環(huán)振鏡控制式掃描系統(tǒng)

　　修刻面積：70mmX70mm

　　分辨率：2.5μm

　　激光

　　類型：半導(dǎo)體側(cè)面泵浦激光器，調(diào)制模式Nd:YAG

　　波長(zhǎng)：1064nm

　　輸出功率：50W

　　重復(fù)頻率：50kHz

　　光學(xué)

　　典型光斑尺寸：35到55μm（70mmX70mm區(qū)域）

　　焦深：2mm，實(shí)際切口寬度與材料、光學(xué)和激光波長(zhǎng)有關(guān)

　　校直/監(jiān)視

　　校直：軟件控制定位

　　照明監(jiān)視：LED冷光

　　修刻區(qū)域放大：

　　最小區(qū)域大?。ǚ糯螅?.5mmX2mm

　　定位：軟件控制定位

　　計(jì)算機(jī)

　　主機(jī)：工業(yè)控制計(jì)算機(jī)，LCD顯示器

　　軟件

　　ByTrim軟件：

　　信號(hào)測(cè)量

　　型號(hào)：一組四探針，加電流測(cè)電壓信號(hào)或直接測(cè)量電阻信號(hào)，可切換

　　轉(zhuǎn)換速度：10μs

　　校準(zhǔn)：自動(dòng)軟件校準(zhǔn)

　　恒流源

　　輸出范圍：0.01μA~100mA計(jì)算機(jī)程控選擇

　　高阻測(cè)量?jī)x

　　測(cè)量范圍：10K到1.6GΩ

　　直流電壓測(cè)量

　　信號(hào)輸入量程：-10V到+10V

　　信號(hào)輸入阻抗：每個(gè)差分信號(hào)輸入端(+端或-端）相對(duì)GND阻抗1MΩ（可更改）

信號(hào)采集采樣率：93.750K、46.875K、23.437K

　　信號(hào)采集分辨率：24bit

　　電阻測(cè)量

范圍：0到1K

精度：大約5‰

　　校準(zhǔn)：自動(dòng)

探針分辨率：5μm

　　武漢激光調(diào)阻機(jī)工作環(huán)境要求：

　　環(huán)境溫度要求在5-35℃之間，要求裝空調(diào)。

　　濕度要求為40%-80%。無(wú)結(jié)露，應(yīng)該安裝除濕機(jī)。

　　供電電網(wǎng)要求：220V；50Hz

　　設(shè)備空間要求要保證無(wú)煙無(wú)塵，避免金屬拋光研磨等粉塵嚴(yán)重的工作環(huán)境。

　　氣壓：86-106kpa。

　　某些環(huán)境應(yīng)裝防靜電地板，加強(qiáng)等

　　武漢激光調(diào)阻機(jī)工作冷卻循環(huán)水的水質(zhì)有嚴(yán)格要求，要求使用純凈水、去離子水或蒸餾水，不可以使用自來(lái)水、礦泉水等含有較高金屬離子或其他礦物質(zhì)的水質(zhì)。

　　武漢激光調(diào)阻機(jī)適用材料和行業(yè)應(yīng)用

　　適用于陶瓷厚膜電路，傳感器行業(yè)，調(diào)壓器行業(yè)，微電路等。

武漢激光調(diào)阻機(jī)廣泛應(yīng)用于集成電路、電工電氣、手機(jī)通信、儀表儀器、、航天等眾多行業(yè)的產(chǎn)品精密調(diào)節(jié)。