供應(yīng)美國MKS 626壓力薄膜規(guī)

  MKS 626系列壓力薄膜規(guī)，一個高性能的，金屬薄膜的壓力傳感器， ±15VDC的輸入和0-10VDC的模擬線性輸出信號，它可以和MKS壓力顯示器連接，也可以和其他滿足要求的控制儀器相連接。真空或壓力的變化造成了傳感器內(nèi)部的金屬薄膜的位置變化，金屬薄膜的變化通過一個信號處理輸出電路轉(zhuǎn)換成一個可用的輸出信號，提供非?？焖俚捻憫?yīng)速度（小于20毫秒），非常低的滯后效應(yīng)，杰出的可靠性和很高的分辨率（全量程的0.001%），優(yōu)良的抗腐蝕能力，雙面焊接的結(jié)構(gòu)保證了操作的安全性。傳感器本身可以承 受重復(fù)的高壓至45Psia（3.1Bar）而不會有任何的漂移和變形。  

  MKS626系列薄膜規(guī)是在常溫下工作的，它的全量程范圍從0.1Torr 到 1000Torr，適合于工業(yè)制造，電子，研發(fā)等工業(yè)領(lǐng)域。 

產(chǎn)品特點： 

直接測量腔體的壓力值，與氣體類型無關(guān) 

長期的輸出穩(wěn)定性保證了在任何應(yīng)用中的現(xiàn)代技術(shù)發(fā)展的要求 

 耐熱的*鎳鈦合金薄膜在化學反應(yīng)環(huán)境中將不會有任何的損壞，包括鹵素，電離水，蒸汽和臭氧  

   高的可靠性保證了偶然的系統(tǒng)意外造成的損壞

 符合歐洲CE，EMC標志

技術(shù)參數(shù)： 

  測量范圍：1.0*10ˉ1 到 1000 Torr

            1.3*10ˉ1 到 1300 Mbar   

             13 到 130000 Pascal

  周圍溫度：0-50℃ 

  過壓限制：45 psia

   響應(yīng)時間：小于20毫秒 

  電源要求：±15VDC,35ma 

  模擬輸出： 0-10VDC,線性輸出 

  測量精度：小于讀數(shù)值的0.25%。 

  分辨率：滿量程的0.001% 

  開機預(yù)熱時間：無需 

  安裝方向：任意方向 

  內(nèi)部容積：6.3立方厘米  

  材質(zhì)：不銹鋼，鋁合金（暴露于工藝腔體中部分為耐熱的*鎳鈦合金薄膜） 

  重量：97克   

  法蘭形式：1/2”Tube,8 VCR,8VCO,KF16,KF25.