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供應中科院射頻電源(固態(tài)RFG-600型)維修

上海市射頻電源固態(tài)廠家

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射頻電源(固態(tài)RFG-600型)

產品簡介

　 RFG-600型固態(tài)射頻電源是中國科學院微電子研究所研制的RFG系列射頻電源之一，可以產生固定頻率、具有一定功率的射頻正弦波。主要特征：

■ 采用MOSFET功率放大器,開機無需預熱

■ 精密功率控制,可實現(xiàn)1W的穩(wěn)定功率輸出

■ 面板/模擬口/RS232/RS485/USB控制

■ 漏電保護,過載保護,過熱保護,駐波保護

■ 具有外部時鐘同步(CEX)功能

■ 射頻末級效率85%,整機效率70%以上

適用場合

半導體工藝、科學實驗中的等離子體發(fā)生；感應加熱；醫(yī)療等等。

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