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多晶硅的生產(chǎn)技術(shù)主要為改良法和法。法通過氣相沉積的方式生產(chǎn)柱狀多晶硅,為了提高原料利用率和環(huán)境友好,在前者的基礎(chǔ)上采用了閉環(huán)式生產(chǎn)工藝即改良法。該工藝將工業(yè)與HCl反應(yīng),加工成SiHCl3 ,再讓SiHCl3在H2氣氛的還原爐中還原沉積得到多晶硅。還原爐排出的尾氣H2、SiHCl3、SiCl4、SiH2Cl2 和HCl經(jīng)過分離后再循環(huán)利用。法是將通入以多晶硅晶種作為流化顆粒的流化床中,使裂解并在晶種上沉積,從而得到顆粒狀多晶硅。改良法和法主要生產(chǎn)電子級晶體硅,也可以生產(chǎn)太陽能級多晶硅。
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