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脈沖激光沉積簡介
脈沖激光沉積,就是將激光聚焦于靶材上一個(gè)較小的面積,利用激光的高能量密度將部分靶材料蒸發(fā)甚至電離,脈沖激光沉積裝置哪家好,使其能夠脫離靶材而向基底運(yùn)動(dòng),進(jìn)而在基底上沉積,從而形成薄膜的一種方式。 在眾多的薄膜制備方法中,脈沖激光沉積技術(shù)的應(yīng)用較為廣泛,脈沖激光沉積裝置報(bào)價(jià),可用來制備金屬、半導(dǎo)體、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物、硅化物、化物及氟化物等各種物質(zhì)薄膜,甚至還用來制備一些難以合成的材料膜,如金剛石、立方氮化物膜等。
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脈沖激光沉積系統(tǒng)配置介紹
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脈沖激光沉積系統(tǒng)配置:
生長室,進(jìn)樣室可選水平、垂直兩種靶臺(tái)可選激光加熱和輻射加熱兩種樣品臺(tái)可選,激光加熱高的溫度1200℃工藝氣路可以任意搭配配備高壓RHEED,工作氣壓可達(dá)100Pa可預(yù)留法蘭,用于LEED,K-Cell, E-beam等其它可選項(xiàng)如臭氧發(fā)生器,脈沖激光沉積裝置多少錢,離子源,掩膜系統(tǒng)等。

脈沖激光沉積系統(tǒng)的特點(diǎn)有哪些?
? ?超高真空不銹鋼腔體
? ?可集成熱蒸發(fā)源或?yàn)R射源
? ?可旋轉(zhuǎn)的耐氧化基片加熱臺(tái)
? ?流量計(jì)或針閥準(zhǔn)確控制氣體流量
? ?標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)? ?干泵與分子泵
? ?可選配不銹鋼快速進(jìn)樣室
? ?可選配基片-靶材距離自動(dòng)控制系統(tǒng)
? ?是金屬氧化物、氮化物、碳化物、金屬納米薄膜、多層膜、超晶格的較佳設(shè)備
以上就是為大家介紹的全部內(nèi)容,希望對大家有所幫助。如果您想要了解更多脈沖激光沉積的知識(shí),歡迎撥打圖片上的熱線聯(lián)系我們。


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