山西風(fēng)淋房_朗潔萬(wàn)達(dá)科技(圖)

電子工廠別潔凈廠房的建造特點(diǎn)

1 電子工廠生產(chǎn)工藝對(duì)受控環(huán)境的要求

電子工廠如大規(guī)模集成電路(LSI)、超大規(guī)模集成電路(VLSI)等微電子(IC)工廠；液晶顯示器(LCD)、彩色薄膜液晶顯示器(TFT-LCD)、等離子顯示器(PDP)以及發(fā)光二極管(LED)、有機(jī)電致發(fā)光顯示器(OLED)、高分子有機(jī)電致發(fā)光顯示器(PLED)等光電子工廠都離不開(kāi)潔凈的生產(chǎn)環(huán)境。生產(chǎn)所要求的環(huán)境不僅：建筑圍護(hù)、結(jié)構(gòu)、空氣、水以及氣體、等原材料，而且還有聲、光、電、磁、振等各種環(huán)境。例如：建筑的形式和層高、結(jié)構(gòu)的承重、圍護(hù)結(jié)構(gòu)的裝修材料；環(huán)境空氣的潔凈度、溫濕度、靜壓力；水和氣體的純度和粒子、重金屬的含量以及環(huán)境的噪聲、照度、靜電、電磁、微振等等?？偟膩?lái)說(shuō)，電子工廠生產(chǎn)工藝對(duì)環(huán)境的要求可用大、凈、精、純、嚴(yán)五個(gè)字來(lái)形容。

·大：生產(chǎn)工藝要求潔凈室的面積越來(lái)越大。就拿彩色薄膜液晶顯示器(TFT-LCD)生產(chǎn)用潔凈室的面積來(lái)說(shuō)，5代TFT生產(chǎn)用潔凈室的面積約28000m2；6代TFT潔凈室的面積約40000m2；到了8代TFT生產(chǎn)用單間潔凈室的面積就大到80000m2以上。潔凈室內(nèi)可停放20多架波音747飛機(jī)。

·凈：電子工廠，尤其是微電子(IC)前工序和光電子(TFT-LCD)前工序的潔凈室對(duì)環(huán)境潔凈度的要求越來(lái)越凈。例如，12時(shí)園片超大規(guī)模集成電路前工序光刻間的潔凈度要求高達(dá)1級(jí)(0．1um)也就是每立方英尺空氣中≥O．1um的粒子數(shù)不能超過(guò)1顆。相當(dāng)于ISO1級(jí)。

·精：電子工廠生產(chǎn)工藝對(duì)環(huán)境空氣溫、濕度的控制精度要求越來(lái)越精。還以上述微電子的光刻間為例：其溫度精度為士0．1℃，相對(duì)濕度的精度為士3％。

·純：大規(guī)模集成電路前工序?qū)ιa(chǎn)用的高純水、高純氣體以及高純的純度要求越來(lái)越純。例如：對(duì)高純水而言，風(fēng)淋房，不僅對(duì)其電阻率有要求，而且對(duì)高純水中所含粒子、重金屬以及其他元素的離子成份都有嚴(yán)格的要求，隨著生產(chǎn)工藝的發(fā)展，對(duì)其純度的要求也越來(lái)越高?？芍^純之又純。

·嚴(yán)：電子工業(yè)生產(chǎn)不僅對(duì)環(huán)境的潔凈度，溫、濕度有嚴(yán)格的要求，同時(shí)對(duì)環(huán)境的聲(噪聲)、光(照度)、電(靜電)、磁(電磁場(chǎng))、振(微振)等都有嚴(yán)格的要求。尤其微電子生產(chǎn)，對(duì)環(huán)境的分子級(jí)污染提出了新的嚴(yán)格的要求。分子污染是指環(huán)境空氣中要嚴(yán)格控制例如鈉(Na)元素、碳(COx)元素、硫(SOx)元素、(NOx)元素等對(duì)半導(dǎo)體工藝有害的元素。因此在處理空氣時(shí)還要用淋水(淋自來(lái)水、淋純凈水)來(lái)吸收室外空氣中的有害分子成份和用化學(xué)過(guò)濾器來(lái)吸附新風(fēng)中的有害分子成份。

2電子工廠別潔凈室多采用混合流潔凈室

為了降低潔凈室的建造初投資和運(yùn)行能耗，電子工廠的別潔凈室一般把ISO 1級(jí)～I(xiàn)SO 5級(jí)這樣高凈化級(jí)別的垂直單向流用在工藝生產(chǎn)重要、關(guān)鍵的部位，用大面積的非單向流(ISO 6級(jí)～I(xiàn)SO 8級(jí))替代大面積的單向流，也就是把垂直單向流與非單向流組合在一個(gè)潔凈室內(nèi)，構(gòu)成混合流潔凈室。

混合流潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)一般采用新風(fēng)機(jī)組(MAU)加風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組(FFU)加干冷盤(pán)管(DC)的送風(fēng)方案。當(dāng)前國(guó)內(nèi)外微電子、光電子等大面積的生產(chǎn)廠房廣泛采用的混合潔凈室，具有調(diào)節(jié)方便、節(jié)能顯著、靈活性強(qiáng)，適應(yīng)電子工業(yè)工藝的更新?lián)Q代，又能節(jié)能非生產(chǎn)面積和非生產(chǎn)空間等優(yōu)點(diǎn)，是較佳的空氣處理方案的送風(fēng)系統(tǒng)。

珠海朗潔萬(wàn)達(dá)科技有限公司是專(zhuān)業(yè)從事華東及其周邊地區(qū)研發(fā)、質(zhì)檢實(shí)驗(yàn)室整體工程承包及GMP廠房等方面的專(zhuān)業(yè)公司，致力于為客戶(hù)提供包括實(shí)驗(yàn)室整體規(guī)劃設(shè)計(jì)、實(shí)驗(yàn)室裝修、V通排風(fēng)系統(tǒng)、新風(fēng)空調(diào)及補(bǔ)風(fēng)系統(tǒng)、實(shí)驗(yàn)臺(tái)柜、氣體管道、潔凈實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)及安裝、設(shè)備制造、施工、售后服務(wù)等。公司取得裝飾設(shè)計(jì)與施工資質(zhì)，機(jī)電安裝專(zhuān)業(yè)資質(zhì)、空氣凈化設(shè)計(jì)與施工資質(zhì)等一系列專(zhuān)業(yè)資格認(rèn)證。

實(shí)驗(yàn)室整體裝修工程

整體設(shè)計(jì)以淡雅、清新色調(diào)為主，簡(jiǎn)約、自然、時(shí)尚融為一體，不僅可以體現(xiàn)現(xiàn)代實(shí)驗(yàn)室的功能要求，而且極大的滿(mǎn)足了人體工程學(xué)的規(guī)范。在實(shí)驗(yàn)室功能隔斷時(shí)，盡可能減輕建筑樓板的承重，實(shí)驗(yàn)室內(nèi)隔斷選用輕質(zhì)隔墻，根據(jù)實(shí)驗(yàn)室不同采用不同材料的隔斷處理。

   天花：一般實(shí)驗(yàn)室的天花用不集塵、不易脫落的龍骨支架鋁扣板天花。有些儀器需要靜音，天花選用消音天花。燈光照明采用內(nèi)嵌式防塵燈盤(pán)30Wx3，工作區(qū)照度>450Lux，走道照度>200Lux。

   實(shí)驗(yàn)室噪音：按照OSHA以及ADA規(guī)范，實(shí)驗(yàn)室內(nèi)噪音不得高于60分貝?？紤]液質(zhì)、氣質(zhì) 掃描電鏡的房間。

   實(shí)驗(yàn)室地面：對(duì)于洗滌室、高溫室、氣瓶室、實(shí)驗(yàn)的實(shí)驗(yàn)室、恒溫恒濕實(shí)驗(yàn)室、潔凈實(shí)驗(yàn)室、大型儀器室等不同種類(lèi)實(shí)驗(yàn)室，需要采用不同的地面處理方式。

   另外關(guān)于一些例如生物安全實(shí)驗(yàn)室、恒溫恒濕實(shí)驗(yàn)室等特殊實(shí)驗(yàn)室，裝修需要遵循相關(guān)的技術(shù)規(guī)范。