傳感器,善測,類三同軸電容傳感器

強(qiáng)度調(diào)制型光纖傳感器

基本原理是待測物理量引起光纖中傳輸光光強(qiáng)的變化，通過檢測光強(qiáng)的變化實(shí)現(xiàn)對待測量的測量。一恒定光源發(fā)出的一定強(qiáng)度的激光注入傳感頭，在傳感頭內(nèi)，類三同軸電容傳感器，光在被測信號(hào)的作用下其強(qiáng)度發(fā)生了變化，傳感器，即受到了外場的調(diào)制，使得輸出光強(qiáng)的包絡(luò)線與被測信號(hào)的形狀一樣，光電探測測出的輸出電流也作同樣的調(diào)制，信號(hào)處理電路再檢測出調(diào)制信號(hào)，就得到了被測信號(hào)。這類傳感器的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡單、成本低、容易實(shí)現(xiàn)，電容位移傳感器，因此開發(fā)應(yīng)用的比較早，現(xiàn)在已經(jīng)成功的應(yīng)用在位移、壓力、表面粗糙度、加速度、間隙、力、液位、振動(dòng)、輻射等的測量。強(qiáng)度調(diào)制的方式很多，大致可分為反射式強(qiáng)度調(diào)制、透射式強(qiáng)度調(diào)制、光模式強(qiáng)度調(diào)制以及折射率和吸收系數(shù)強(qiáng)度調(diào)制等等。一般反射式強(qiáng)度調(diào)制、透射式強(qiáng)度調(diào)制、折射率強(qiáng)度調(diào)制稱為外調(diào)制式，光模式稱為內(nèi)調(diào)制式。但是由于原理的限制，它易受光源波動(dòng)和連接器損耗變化等的影響，因此這種傳感器只能用于干擾源較小的場合。

電容式壓力傳感器的溫度特性好，所以國內(nèi)對其溫度效應(yīng)的研究很少。但隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展，人們對傳感器的性能要求越來越高，傳感器的溫度特性也開始受到人們的重視。接觸式或非接觸式壓力傳感器都存在一定的溫度效應(yīng)，電渦流傳感器，如果能溫度影響，保證良好的壓力特性，將使得傳感器具有更良好的應(yīng)用前景。介紹基于SOI硅／硅鍵合工藝的接觸電容式高溫壓力傳感器的結(jié)構(gòu)及測試裝置，通過對傳感器真空和大氣環(huán)境下的高溫測試來分析溫度對傳感器測試結(jié)果的影響。