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傳感器網(wǎng)絡(luò)
傳感器網(wǎng)絡(luò)是當(dāng)前國(guó)際上備受關(guān)注的、由多學(xué)科高度交叉的新興前沿研究熱點(diǎn)領(lǐng)域。傳感器網(wǎng)絡(luò)綜合了傳感器技術(shù)、嵌入式計(jì)算技術(shù)、現(xiàn)代網(wǎng)絡(luò)及無(wú)線通信技術(shù)、分布式信息處理技術(shù)等,傳感器,能夠通過各類集成化的微型傳感器協(xié)作地實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)、感知和采集各種環(huán)境或監(jiān)測(cè)對(duì)象的信息,微波傳感器,通過嵌入式系統(tǒng)對(duì)信息進(jìn)行處理,三同軸電容傳感器,并通過隨機(jī)自組織無(wú)線通信網(wǎng)絡(luò)以多跳中繼方式將所感知信息傳送到用戶終端。從而真正實(shí)現(xiàn)“無(wú)處不在的計(jì)算”理念。傳感器網(wǎng)絡(luò)的研究采用系統(tǒng)發(fā)展模式,因而必須將現(xiàn)代的微電子技術(shù)、微細(xì)加工技術(shù)、系統(tǒng)SOC(system-on-chip)芯片設(shè)計(jì)技術(shù)、納米材料與技術(shù)、現(xiàn)代信息通訊技術(shù)、計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)技術(shù)等融合,以實(shí)現(xiàn)其微型化、集成化、多功能化及系統(tǒng)化、網(wǎng)絡(luò)化,特別是實(shí)現(xiàn)傳感器網(wǎng)絡(luò)特有的超低功耗系統(tǒng)設(shè)計(jì)。傳感器網(wǎng)絡(luò)具有十分廣闊的應(yīng)用前景,在軍事國(guó)防、工農(nóng)業(yè)、城市管理、生物、環(huán)境監(jiān)測(cè)、搶險(xiǎn)救災(zāi)、防恐反恐、危險(xiǎn)區(qū)域遠(yuǎn)程控制等許多領(lǐng)域都有重要的科研價(jià)值和巨大實(shí)用價(jià)值,已經(jīng)引起了許多國(guó)家軍界、學(xué)術(shù)界和工業(yè)界的高度重視,并成為進(jìn)入2000 年以來(lái)公認(rèn)的新興前沿?zé)狳c(diǎn)研究領(lǐng)域,被認(rèn)為是將對(duì)二十一世紀(jì)產(chǎn)生巨大影響力的技術(shù)之一。

電容式壓力傳感器的溫度特性好,所以國(guó)內(nèi)對(duì)其溫度效應(yīng)的研究很少。但隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展,人們對(duì)傳感器的性能要求越來(lái)越高,光纖傳感器,傳感器的溫度特性也開始受到人們的重視。接觸式或非接觸式壓力傳感器都存在一定的溫度效應(yīng),如果能溫度影響,保證良好的壓力特性,將使得傳感器具有更良好的應(yīng)用前景。介紹基于SOI硅/硅鍵合工藝的接觸電容式高溫壓力傳感器的結(jié)構(gòu)及測(cè)試裝置,通過對(duì)傳感器真空和大氣環(huán)境下的高溫測(cè)試來(lái)分析溫度對(duì)傳感器測(cè)試結(jié)果的影響。


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