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電子工廠別潔凈廠房的建造特點

1 電子工廠生產工藝對受控環(huán)境的要求

電子工廠如大規(guī)模集成電路(LSI)、超大規(guī)模集成電路(VLSI)等微電子(IC)工廠；液晶顯示器(LCD)、彩色薄膜液晶顯示器(TFT-LCD)、等離子顯示器(PDP)以及發(fā)光二極管(LED)、有機電致發(fā)光顯示器(OLED)、高分子有機電致發(fā)光顯示器(PLED)等光電子工廠都離不開潔凈的生產環(huán)境。生產所要求的環(huán)境不僅：建筑圍護、結構、空氣、水以及氣體、等原材料，而且還有聲、光、電、磁、振等各種環(huán)境。例如：建筑的形式和層高、結構的承重、圍護結構的裝修材料；環(huán)境空氣的潔凈度、溫濕度、靜壓力；水和氣體的純度和粒子、重金屬的含量以及環(huán)境的噪聲、照度、靜電、電磁、微振等等?？偟膩碚f，GMP廠房安裝廠，電子工廠生產工藝對環(huán)境的要求可用大、凈、精、純、嚴五個字來形容。

·大：生產工藝要求潔凈室的面積越來越大。就拿彩色薄膜液晶顯示器(TFT-LCD)生產用潔凈室的面積來說，5代TFT生產用潔凈室的面積約28000m2；6代TFT潔凈室的面積約40000m2；到了8代TFT生產用單間潔凈室的面積就大到80000m2以上。潔凈室內可停放20多架波音747飛機。

·凈：電子工廠，GMP廠房安裝公司，尤其是微電子(IC)前工序和光電子(TFT-LCD)前工序的潔凈室對環(huán)境潔凈度的要求越來越凈。例如，12時園片超大規(guī)模集成電路前工序光刻間的潔凈度要求高達1級(0．1um)也就是每立方英尺空氣中≥O．1um的粒子數(shù)不能超過1顆。相當于ISO1級。

·精：電子工廠生產工藝對環(huán)境空氣溫、濕度的控制精度要求越來越精。還以上述微電子的光刻間為例：其溫度精度為士0．1℃，相對濕度的精度為士3％。

·純：大規(guī)模集成電路前工序對生產用的高純水、高純氣體以及高純的純度要求越來越純。例如：對高純水而言，不僅對其電阻率有要求，而且對高純水中所含粒子、重金屬以及其他元素的離子成份都有嚴格的要求，隨著生產工藝的發(fā)展，對其純度的要求也越來越高?？芍^純之又純。

·嚴：電子工業(yè)生產不僅對環(huán)境的潔凈度，溫、濕度有嚴格的要求，同時對環(huán)境的聲(噪聲)、光(照度)、電(靜電)、磁(電磁場)、振(微振)等都有嚴格的要求。尤其微電子生產，對環(huán)境的分子級污染提出了新的嚴格的要求。分子污染是指環(huán)境空氣中要嚴格控制例如鈉(Na)元素、碳(COx)元素、硫(SOx)元素、(NOx)元素等對半導體工藝有害的元素。因此在處理空氣時還要用淋水(淋自來水、淋純凈水)來吸收室外空氣中的有害分子成份和用化學過濾器來吸附新風中的有害分子成份。

2電子工廠別潔凈室多采用混合流潔凈室

為了降低潔凈室的建造初投資和運行能耗，電子工廠的別潔凈室一般把ISO 1級～ISO 5級這樣高凈化級別的垂直單向流用在工藝生產重要、關鍵的部位，用大面積的非單向流(ISO 6級～ISO 8級)替代大面積的單向流，也就是把垂直單向流與非單向流組合在一個潔凈室內，構成混合流潔凈室。

混合流潔凈室的凈化空調系統(tǒng)一般采用新風機組(MAU)加風機過濾器機組(FFU)加干冷盤管(DC)的送風方案。當前國內外微電子、光電子等大面積的生產廠房廣泛采用的混合潔凈室，具有調節(jié)方便、節(jié)能顯著、靈活性強，適應電子工業(yè)工藝的更新?lián)Q代，又能節(jié)能非生產面積和非生產空間等優(yōu)點，是較佳的空氣處理方案的送風系統(tǒng)。

珠海朗潔萬達科技有限公司是專業(yè)從事華東及其周邊地區(qū)研發(fā)、質檢實驗室整體工程承包及GMP廠房等方面的專業(yè)公司，致力于為客戶提供包括實驗室整體規(guī)劃設計、實驗室裝修、V通排風系統(tǒng)、新風空調及補風系統(tǒng)、實驗臺柜、氣體管道、潔凈實驗室設計及安裝、設備制造、施工、售后服務等。公司取得裝飾設計與施工資質，機電安裝專業(yè)資質、空氣凈化設計與施工資質等一系列專業(yè)資格認證。

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    潔凈室也稱凈化間、無塵車間，其主要應用于食品、精密制造、激光/電子設備生產、衛(wèi)生防疫、生化科研等行業(yè)領域。因其應用廣泛，使用細節(jié)的不同，潔凈室亦衍生出多類型多級別區(qū)分的組合結構，包括：100~300000級凈化車間、潔凈/凈化實驗室、微生物實驗室、生物培養(yǎng)實驗室、潔凈動物室、材料檢驗室、潔凈棚、Ⅰ~Ⅲ類手術室、精密恒溫恒濕凈化間、QS潔凈/凈化飲料無菌灌裝間、食品內包間及GMP藥品/無菌生產、檢驗區(qū)等多種使用領域；

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珠海朗潔萬達科技有限公司是專門從事凈化工程設計、制造、安裝調試及技術服務的企業(yè)。公司擁有一支專業(yè)的設計施工隊伍，有專業(yè)的工程技術人員，在建筑學、暖通、給排水、設備安裝、電氣等具有豐富的經(jīng)驗。近年來先后在電子、航天技術、生物制藥、包裝食品等領域完成了多個國家專業(yè)安裝項目的交鑰匙工程。

公司堅定不移的立足科技創(chuàng)新，潛心產品技術研發(fā)，GMP廠房，注重產品品質和誠信服務，匯集了一批專業(yè)技術領域的人才，組成了以中青年科技精英為骨干的高素質科研隊伍，在不斷的產品研發(fā)實踐中積累了豐富的產品設計經(jīng)驗和精深的理論知識。

“立足創(chuàng)新、專注質量、誠信服務、真誠合作、共同發(fā)展”是本公司始終如一的追求，為客戶提供優(yōu)質、安全、可靠的技術和產品是朗潔萬達的方針。我們將不斷超越自我，一如既往地為客戶創(chuàng)造價值，提供更優(yōu)質的技術、產品和服務！

由于全程參與了一次配和二次配，我對本項目一次配的不足之處有以下幾點發(fā)現(xiàn)：

1）要加強對材料的潔凈管理，早期進場安裝時，管道外包裝被拆除，可安裝后沒有進行有效的成品保護，導致管道上灰塵較多，GMP廠房設計，不符合潔凈室的施工要求。此外，還有部分預留管道沒有進行封堵，業(yè)主也將此問題提出。

2）要提高對標識的重要性的認識，下夾層柱子多，各種管道系統(tǒng)復雜，一定要考慮業(yè)主的使用方便，合理張貼標簽，達到適用、方便、美觀。

3）一次配的預留點不盡合理，從二次配的角度來看，支管預留閥門離設備還是比較遠，如果確定一次配和二次配都有一家來做，可以進一步優(yōu)化，使預留點離設備使用點近一些，節(jié)約二次配的材料。