使用不止一組切割切割線是在保持速度的前提下提高機臺產(chǎn)量的一個創(chuàng)新方法。應(yīng)用材料公司最的MaxEdge 系統(tǒng)采用了獨特的兩組獨立控制的切割組件。MaxEdge是業(yè)界一個專門設(shè)計使用細(xì)切割線的線鋸系統(tǒng) ,最可達(dá)到80μm。相對于業(yè)界先的應(yīng)用材料公司HCT B5線鋸系統(tǒng),這些改進(jìn)減少了硅料損失使產(chǎn)量提高多達(dá)50%。
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新型線鋸系統(tǒng)現(xiàn)況為了滿足市場對于更低成本和更高生產(chǎn)力的要求,新一代線鋸必須提升切割速度,組件太陽能硅片回收,使用更長的硅塊從而提高切割荷載。更細(xì)的切割線和更薄的硅片都提升了生產(chǎn)力,同時,的工藝控制可以管理切割線拉力以此保持切割線的牢固性。
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放射示蹤原子分析和質(zhì)譜分析表明,采用雙氧水體系清洗硅片效果好,同時所用的全部化學(xué)試劑 H2O2、NH4OH、HCl能夠完全揮發(fā)掉。用H2SO4和H2O2清洗硅片時,在硅片表面會留下約2×1010原子每平方厘米的硫原子,用后一種酸性清洗液時可以完全被。用H2O2體系清洗硅片無殘留物,有害性小,也有利于工人健康和環(huán)境保護。硅片清洗中用各步清洗液處理后,都要用超純水沖洗。
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