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濺射靶材
北京石久高研金屬材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于鍍膜靶材和蒸發(fā)料的研發(fā)和生產(chǎn)工作,鎳釩靶,為電子行業(yè)、玻璃工業(yè)、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、裝飾鍍膜、工具鍍膜等行業(yè)的鍍膜企業(yè)提供的靶材和蒸發(fā)料。公司主營(yíng)金屬靶材、金屬材料、光學(xué)鍍膜材料等。

微電子硅片引線中,銅與鋁相比較,銅具有更高的抗電遷移能力及更低的電阻率 ,能夠滿足半導(dǎo)體工藝在 0.25 μm以下的亞微米布線的需要 ,但卻帶來(lái)了其他的問(wèn)題 。銅與有機(jī)介質(zhì)材料的附著強(qiáng)度低 并且容易發(fā)生反應(yīng) ,導(dǎo)致在使用過(guò)程中芯片的銅互連線被腐蝕而斷路。 為了解決以上這些問(wèn)題,鎳釩靶廠, 需要在銅與介質(zhì)層之間設(shè)置阻擋層。 阻擋層材料一般采用高熔點(diǎn) 、高電阻率的金屬及其化合物 。因此要求阻擋層厚度小于 50 nm 且與銅及介質(zhì)材料的附著性能良好。 銅互連和鋁互連的阻擋層材料是不同的 ,需要研制新的靶材材料。 銅互連的阻擋層用靶材包括 Ta、 W、 TaSi 、WSi 等。但是 Ta、W 都是難熔金屬,制備相對(duì)困難 現(xiàn)在正在研究鉬、鉻等的合金作為替代材料 。

石久高研專注15年提供高純金屬靶材 、高純靶材歡迎來(lái)電咨詢~~~





濺射靶材
北京石久高研金屬材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于鍍膜靶材和蒸發(fā)料的研發(fā)和生產(chǎn)工作,為電子行業(yè)、玻璃工業(yè)、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、裝飾鍍膜、工具鍍膜等行業(yè)的鍍膜企業(yè)提供的靶材和蒸發(fā)料。公司主營(yíng)金屬靶材、金屬材料、光學(xué)鍍膜材料等。

鋁靶材的生產(chǎn)方法:1、鋁的生產(chǎn)和提純[2] :鋁是從鋁土礦中提取Al2O3,再在熔融冰晶石中電解而得到的,純度一般在99%以上,但這樣純度的鋁根本無(wú)法作為生產(chǎn)鋁靶材的原材料,鋁靶材對(duì)鋁材的第1個(gè)要求也是最重要的要求就是純度要高,鋁靶材所用的高純鋁是再經(jīng)過(guò)偏析法、三層電解法或聯(lián)合區(qū)域熔煉法生產(chǎn)而成的,價(jià)格要比工業(yè)純鋁99.7貴很多,目前國(guó)內(nèi)高純度在99.9999%(6N)左右。2、鋁靶材的變形處理:有了高純度鋁錠作為原材料,對(duì)原材料進(jìn)行鍛造、軋制、熱處理等,使鋁錠內(nèi)晶粒變細(xì)小、致密度增加以滿足濺射所需鋁靶材的要求。3、對(duì)變形處理后的高純度鋁材料進(jìn)行機(jī)械加工,鋁靶材加工要求精度高、表面質(zhì)量高,加工成真空鍍膜機(jī)所需的靶材尺寸就可以了,鎳釩靶報(bào)價(jià),鋁靶材與鍍膜機(jī)多以螺紋相連接。

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有研新材:近2億元投建高純金屬靶材項(xiàng)目
北京石久高研金屬材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于鍍膜靶材和蒸發(fā)料的研發(fā)和生產(chǎn)工作,為電子行業(yè)、玻璃工業(yè)、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、裝飾鍍膜、工具鍍膜等行業(yè)的鍍膜企業(yè)提供的靶材和蒸發(fā)料。公司主營(yíng)金屬靶材、金屬材料、光學(xué)鍍膜材料等。

中證網(wǎng)訊 有研新材(600206)布告稱,該公司全資子公司有研億金新資料有限公司為提添加純金屬靶材研制出產(chǎn)才能和技能水平,擴(kuò)大8-12英寸集成電路用靶材出產(chǎn)才能,在研討國(guó)際、國(guó)內(nèi)高純金屬靶材商場(chǎng)局勢(shì)和技能開(kāi)展趨勢(shì),以及自身優(yōu)勢(shì)和開(kāi)展戰(zhàn)略的基礎(chǔ)上,出資19,943.90萬(wàn)元,建造有研億金高純金屬靶材產(chǎn)業(yè)化建造項(xiàng)目。

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注冊(cè)資金:500萬(wàn)元人民幣
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