FPC,企豪電子,FPC打樣

我國(guó)進(jìn)口半導(dǎo)體設(shè)備的狀況

2015 年我國(guó)進(jìn)口半導(dǎo)體設(shè)備的進(jìn)口數(shù)量及進(jìn)口金額如表 2 所示。進(jìn)口金額很大的前 5 類設(shè)備分別為等離子體干法刻蝕機(jī)、分步重復(fù)光刻機(jī)、全自動(dòng)引線鍵合機(jī)、氧化/擴(kuò)散爐和物理相沉積設(shè)備（PVD）。進(jìn)口數(shù)量最多的前 5 類設(shè)備分別是全自動(dòng)引線鍵合機(jī)、晶圓切割設(shè)備、IC 工廠自動(dòng)搬運(yùn)機(jī)器人、化學(xué)氣相沉積設(shè)備（CVD）和等離子體干法刻蝕機(jī)[2]。

但是，近年來(lái)，隨著我國(guó) 02 專項(xiàng)的集成電路重大裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目的推進(jìn)，有些設(shè)備如等離子體干法刻蝕機(jī)、封裝光刻機(jī)、全自動(dòng)引線鍵合機(jī)、物理相沉積設(shè)備（PVD）和化學(xué)氣相沉積設(shè)備（CVD，包括PECVD）等國(guó)產(chǎn)設(shè)備已逐步進(jìn)入國(guó)內(nèi)集成電路大生產(chǎn)線量產(chǎn)使用。國(guó)產(chǎn)設(shè)備替代進(jìn)口設(shè)備的進(jìn)程正在逐步推進(jìn)[2]。

圖 2 展示了 2015 年 13 類進(jìn)口設(shè)備的分布情況。

3  我國(guó)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)的發(fā)展?fàn)顩r

3.1．我國(guó)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)的銷售收入、交貨值和利潤(rùn)額

2016 年 9 月，在廈門舉行的我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備年會(huì)上，中國(guó)電子設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)公布了 2015 年我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)發(fā)展的詳細(xì)信息，并對(duì) 2016 年的情況進(jìn)行了預(yù)估。

2015 年我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)的產(chǎn)品結(jié)構(gòu)如圖 3 所示。其中，集成電路設(shè)備已占行業(yè)產(chǎn)品的主體，2015 年銷售額為 22.92 億元，占行業(yè)銷售收入的 49%；太陽(yáng)能電池片設(shè)備的銷售額為 15.45 億元，占行業(yè)銷售收入的 33%； LED 設(shè)備的銷售額為 5.86 億元，F(xiàn)PC打樣，占  12%；分立器件及其他設(shè)備的銷售額為 2.94 億元，僅占 6% 左右。

2013～2015 年我國(guó)各類半導(dǎo)體設(shè)備的銷售收入及增長(zhǎng)情況如表 3 所示。圖 4 展示了2013～2015 年我國(guó)各類半導(dǎo)體設(shè)備銷售收入的發(fā)展趨勢(shì)。

3.2．我國(guó)進(jìn)入生產(chǎn)線正式使用的國(guó)產(chǎn)高等半導(dǎo)體設(shè)備

2015 年，在我國(guó)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備銷售收入取得大幅增長(zhǎng)的同時(shí)，一批高等

集成電路設(shè)備成功進(jìn)入超大規(guī)模集成電路晶圓生產(chǎn)線和封裝生產(chǎn)線正式量產(chǎn)使用。

表 4 列出了 2015 年進(jìn)入超大規(guī)模集成電路晶圓生產(chǎn)線量產(chǎn)使用的有代表性的晶圓前道制造設(shè)備。表 5 列出了 2015 年進(jìn)入集成電路封裝生產(chǎn)線量產(chǎn)使用的有代表性的封裝設(shè)備。

2015 年，隨著國(guó)內(nèi) 6 條高亮度 LED 國(guó)產(chǎn)化生產(chǎn)線建設(shè)，加快了國(guó)產(chǎn) LED 芯片關(guān)鍵設(shè)備的發(fā)展進(jìn)程。2015 年進(jìn)入高亮度 LED 國(guó)產(chǎn)化生產(chǎn)線的有代表性的國(guó)產(chǎn)設(shè)備如表 6 所示。

2015 年，隨著國(guó)內(nèi)太陽(yáng)能電池芯片生產(chǎn)線的改建和擴(kuò)建，一批智能化、自動(dòng)化的太陽(yáng)能電池芯片制造新設(shè)備也進(jìn)入太陽(yáng)能電池芯片生產(chǎn)線，其中有代表性的設(shè)備如表 7 所示。

4  2016 年我國(guó)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展?fàn)顩r

據(jù)中國(guó)電子設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)估測(cè)，2016 年我國(guó)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的銷售收入達(dá)到 57 億元，比 2015 年增長(zhǎng) 20.8%，各類設(shè)備的銷售規(guī)模及增長(zhǎng)率如表 8 所示。由此可見，2016 年我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)進(jìn)一步加快發(fā)展。

總之，在國(guó)家科技重大專項(xiàng)02 專項(xiàng)和國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展投資金額的大力支持下，2016 年又有多項(xiàng)研發(fā)的高等集成電路設(shè)備進(jìn)入驗(yàn)證和驗(yàn)收程序，或者進(jìn)入國(guó)內(nèi)外主流集成電路生產(chǎn)線生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)，國(guó)產(chǎn)集成電路設(shè)備銷售收入又有 20.8% 以上的快速穩(wěn)步增長(zhǎng)。

與此同時(shí)，國(guó)內(nèi)光伏產(chǎn)業(yè)在經(jīng)歷了 2012～2013 年大幅度調(diào)整的基礎(chǔ)上，繼續(xù)保持理性、健康發(fā)展。國(guó)家的“光伏扶貧”和“者項(xiàng)目”等政策扶持措施已成為我國(guó)光伏市場(chǎng)新的增長(zhǎng)點(diǎn)。光伏企業(yè)將通過(guò)進(jìn)一步擴(kuò)大產(chǎn)能和加快淘汰落后生產(chǎn)線設(shè)備來(lái)降低產(chǎn)品成本和提高企業(yè)效益，這給我國(guó)太陽(yáng)能電池芯片設(shè)備制造廠商帶來(lái)了新的發(fā)展機(jī)遇。

但在 2016 年，LED 市場(chǎng)受惡性競(jìng)爭(zhēng)的影響，東莞FPC打樣，導(dǎo)致業(yè)內(nèi)多數(shù)企業(yè)虧損，行業(yè)投資減少，致使 LED 設(shè)備銷售增長(zhǎng)滯緩。估計(jì)到 2017 年將LED 市場(chǎng)調(diào)整到理性、有序發(fā)展軌道之后，LED 設(shè)備的銷售情況會(huì)有所好轉(zhuǎn)。

在“第十一屆（2016 年度）中國(guó)半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)”項(xiàng)目評(píng)選中，有 12 項(xiàng)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備獲得入選，如表 9 所示。

5  2016 年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備五強(qiáng)企業(yè)

經(jīng)中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)評(píng)選及公布的 2016 年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備五強(qiáng)企業(yè)如表 10 所示。

6  結(jié)語(yǔ)

在中國(guó)國(guó)內(nèi)，半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)和半導(dǎo)體材料業(yè)通稱為半導(dǎo)體支撐業(yè)。根據(jù)中國(guó)電子設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)的估測(cè)，2016 年國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的銷售規(guī)模為57.0 億元，同比增長(zhǎng) 20%[3]。

近年來(lái)，在國(guó)內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)持續(xù)快速發(fā)展的帶動(dòng)下，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)呈現(xiàn)出高增長(zhǎng)的勢(shì)頭。在國(guó)家科技重大專項(xiàng) 02 專項(xiàng)和各級(jí)地方科技創(chuàng)新專項(xiàng)的大力支持下，多種制造設(shè)備開始替代進(jìn)口設(shè)備，在國(guó)內(nèi)集成電路大生產(chǎn)線上運(yùn)行和使用。

三好

1、管好：自覺遵守定人定機(jī)制度，按要求使用設(shè)備，別人的設(shè)備如不按要求，就不應(yīng)使用。工具及附件要放置整齊并保管好，不使損壞和丟失。設(shè)備上的防護(hù)裝置和線路管道要經(jīng)常檢查，保證完整而可靠。

2、用好：嚴(yán)格遵守操作規(guī)程和維護(hù)保養(yǎng)制度，對(duì)設(shè)備不超載使用、不大機(jī)小用、不帶病運(yùn)轉(zhuǎn)、不在設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)中變速和裝卸工件，精心操作，力求防止事故發(fā)生。

3、修好：在維修工人幫助下，逐步掌握一般修理技術(shù)，能獨(dú)立排除設(shè)備的小故障，參加設(shè)備的二級(jí)保養(yǎng)及大修總裝和試車驗(yàn)收工作。

四會(huì)

1、會(huì)使用：熟悉設(shè)備結(jié)構(gòu)，掌握設(shè)備的技術(shù)性能和操作方法，懂得加工工藝，合理地選擇切削用量，做到正確使用設(shè)備。

2、會(huì)保養(yǎng)：正確地按潤(rùn)滑圖表規(guī)定加油、換油，保持油路暢通和油線、油氈、濾油器清潔。認(rèn)真清掃，保持設(shè)備內(nèi)外清潔，無(wú)油垢，無(wú)銹蝕，F(xiàn)PC，達(dá)到“漆見本色鐵見光”，認(rèn)真做好日常保養(yǎng)，定期進(jìn)行一級(jí)保養(yǎng)。

3、會(huì)檢查：了解設(shè)備的精度標(biāo)準(zhǔn)和加工規(guī)范，會(huì)檢查與加工工藝有關(guān)的設(shè)備異常狀態(tài)。

4、會(huì)排除故障：能對(duì)不正常的聲音、溫度和運(yùn)轉(zhuǎn)情況進(jìn)行分析，發(fā)現(xiàn)設(shè)備的異常狀態(tài)，能采取措施，排除一般故障。參加設(shè)備的事故分析，查明原因，吸取教訓(xùn)，做出預(yù)防措施。

設(shè)備維護(hù)保養(yǎng)的“四項(xiàng)要求”

1、整齊

（1）工具、附件齊全，放置整齊，不準(zhǔn)直接放在機(jī)床的導(dǎo)軌面上。工具箱、料架及加工件應(yīng)擺放合理整齊。

（2）機(jī)床的防護(hù)裝置及零件應(yīng)齊全完整，各種標(biāo)牌應(yīng)完整清晰。

（3）各管道、電氣線路應(yīng)安裝整齊、安全、可靠。

2、清潔

（1）內(nèi)外清潔，F(xiàn)PC廠家，無(wú)黃袍、油垢、銹蝕，無(wú)鐵屑雜物。

（2）各滑動(dòng)面、三杠、齒輪、齒條無(wú)油垢。

（3）機(jī)床周圍地面經(jīng)常保持清潔，無(wú)積油、積水和切屑雜物。

3、潤(rùn)滑

（1）熟悉潤(rùn)滑圖表，按時(shí)按質(zhì)按量加油和換油，保持油標(biāo)醒目。

（2）油箱、油池和冷卻箱應(yīng)清潔，無(wú)鐵屑雜物。

（3）油壺、油槍、油孔、油杯、油線和油氈應(yīng)保持齊全、清潔。

（4）油泵壓力正常，油路暢通，各部位軸承潤(rùn)滑良好。

4、安全

（1）熟悉設(shè)備性能，遵守安全技術(shù)操作規(guī)程，防止人身和設(shè)備事故。

（2）按要求操作設(shè)備。

（3）遵守設(shè)備操作的“五項(xiàng)紀(jì)律”，懂得“三好四會(huì)”內(nèi)容，并認(rèn)真執(zhí)行。

（4）電器線路接地可靠，絕緣良好，限位開關(guān)、擋鐵安全可靠，信號(hào)儀表靈敏。

設(shè)備操作的五項(xiàng)原則1、必須按要求使用設(shè)備，嚴(yán)格遵守安全技術(shù)操作規(guī)程和工藝文件。

2、經(jīng)常保持設(shè)備清潔，按潤(rùn)滑圖表規(guī)定加油，做到不搞好潤(rùn)滑工作不開車，不搞好清潔工作不下班。

3、認(rèn)真執(zhí)行交接班制度，填好交接班及運(yùn)轉(zhuǎn)臺(tái)時(shí)記錄。

4、管好工具和附件，不得遺失。

5、不準(zhǔn)在設(shè)備運(yùn)行時(shí)離開崗位，發(fā)現(xiàn)故障應(yīng)立即停車，自己不能處理的，應(yīng)及時(shí)通知維修工人檢修。

設(shè)備事故發(fā)生后，

必須遵循“三不放過(guò)”原則三不放過(guò)即事故原因分析不清不放過(guò)；事故責(zé)任者與群眾未受到教育不放過(guò)；沒有防范措施不放過(guò)。根據(jù)設(shè)備損壞程度、事故性質(zhì)和經(jīng)濟(jì)損失，認(rèn)真分析，嚴(yán)肅處理，并整理記錄存入設(shè)備檔案。