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濺射靶材

北京石久高研金屬材料有限公司成立于2005年， 石久高研致力于鍍膜靶材和蒸發(fā)料的研發(fā)和生產(chǎn)工作，為電子行業(yè)、玻璃工業(yè)、數(shù)據(jù)存儲、裝飾鍍膜、工具鍍膜等行業(yè)的鍍膜企業(yè)提供的靶材和蒸發(fā)料。公司主營金屬靶材、金屬材料、光學鍍膜材料等。

靶中毒的解決辦法

1、采用中頻電源或射頻電源。

2、采用閉環(huán)控制反應氣體的通入量。

3、采用孿生靶

4、控制鍍膜模式的變換：在鍍膜前，采集靶中毒的遲滯效應曲線，使進氣流量控制在產(chǎn)生靶中毒的前沿，確保工藝過程始終處于沉積速率陡降前的模式。

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金屬靶材

北京石久高研金屬材料有限公司成立于2005年， 石久高研致力于鍍膜靶材和蒸發(fā)料的研發(fā)和生產(chǎn)工作，為電子行業(yè)、玻璃工業(yè)、數(shù)據(jù)存儲、裝飾鍍膜、工具鍍膜等行業(yè)的鍍膜企業(yè)提供的靶材和蒸發(fā)料。公司主營金屬靶材、金屬材料、光學鍍膜材料等。

濺射靶材使用指南及注意事項

靶材預濺射  

靶材預濺射建議采用純氬氣進行濺射，可以起到清潔靶材表面的作用。靶材進行預濺射時建議慢慢加大濺射功率，鈷靶，陶瓷類靶材的功率加大速率建議為1.5W小時/平方厘米。金屬類靶材的預濺射速度可以比陶瓷靶材塊，一個合理的功率加大速率為1.5W小時/平方厘米。  

在進行預濺射的同時需要檢查靶材起弧狀況，預濺射時間一般為10分鐘左右。如沒有起弧現(xiàn)象，繼續(xù)提升濺射功率到設定功率。根據(jù)經(jīng)驗，金屬靶材可承受的濺射功率為25watts/平方厘米，陶瓷靶材為10watts/平方厘米。請同時參考用戶系統(tǒng)操作手冊中關于濺射時真空腔體壓力的設定根據(jù)經(jīng)驗，一般應確保冷卻水出水口的水溫應低于35攝氏度，但最重要的是確保冷卻水的循環(huán)系統(tǒng)能有效工作，通過冷卻水的快速循環(huán)帶走熱量，鈷靶廠，是確保能以較高功率連續(xù)濺射的一項重要保障。對于金屬靶材一般建議冷卻水流量為20LPM水壓在5GMP左右；對于陶瓷靶材一般建議水流量在30LPM水壓在9GMP左右。

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光學鍍膜

北京石久高研金屬材料有限公司成立于2005年， 石久高研致力于鍍膜靶材和蒸發(fā)料的研發(fā)和生產(chǎn)工作，為電子行業(yè)、玻璃工業(yè)、數(shù)據(jù)存儲、裝飾鍍膜、工具鍍膜等行業(yè)的鍍膜企業(yè)提供的靶材和蒸發(fā)料。公司主營金屬靶材、金屬材料、光學鍍膜材料等。

技術特征

1）第1代抗磨損膜技術

抗磨損膜始于20世紀70年代初，當時認為玻璃鏡片不易磨制是因為其硬度高，而有機鏡片則太軟所以容易磨損。因此將石英材料于真空條件下鍍在有機鏡片表面，形成一層非常硬的抗磨損膜，但由于其熱脹系數(shù)與片基材料的不匹配，很容易脫膜和膜層脆裂，鈷靶哪家好，因此抗磨損效果不理想。

2）第二代抗磨損膜技術

20世紀80年代以后，研究人員從理論上發(fā)現(xiàn)磨損產(chǎn)生的機理不僅僅與硬度相關，膜層材料具有“硬度/形變”的雙重特性，即有些材料的硬度較高，但變形較小，而有些材料硬度較低，但變形較大。第二代的抗磨損膜技術就是通過浸泡工藝法在有機鏡片的表面鍍上一種硬度高且不易脆裂的材料。

3）第三代抗磨損膜技術

第三代的抗磨損膜技術是20世紀90年代以后發(fā)展起來的，主要是為了解決有機鏡片鍍上減反射膜層后的耐磨性問題。由于有機鏡片片基的硬度和減反射膜層的硬度有很大的差別，新的理論認為在兩者之間需要有一層抗磨損膜層，使鏡片在受到砂礫磨擦時能起緩沖作用，并而不容易產(chǎn)生劃痕。第三代抗磨損膜層材料的硬度介于減反射膜和鏡片片基的硬度之間，其磨擦系數(shù)低且不易脆裂。

4）第四代抗磨損膜技術

第四代的抗膜技術是采用了硅原子，例如法國依視路公司的帝鍍斯（TITUS）加硬液中既含有有機基質(zhì)，又含有包括硅元素的無機超微粒物，使抗磨損膜具備韌性的同時又提高了硬度?，F(xiàn)代的鍍抗磨損膜技術最主要的是采用浸泡法，即鏡片經(jīng)過多道清洗后，浸入加硬液中，一定時間后，鈷靶批發(fā)價格，以一定的速度提起。這一速度與加硬液的黏度有關，并對抗磨損膜層的厚度起決定作用。提起后在100 °C左右的烘箱中聚合4－5小時，鍍層厚約3－5微米。

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