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選擇Elite(一六儀器)X射線熒光鍍層測(cè)厚儀理由:
根據(jù)IPC規(guī)程,必須使用整塊的標(biāo)準(zhǔn)片來校正儀器,對(duì)于多鍍層的測(cè)量,目前大多數(shù)客戶購買的測(cè)厚儀采用的是多種箔片疊加測(cè)量校正,比如測(cè)量PCB板上的Au/Pd/Ni/Cu,因?yàn)闇y(cè)量點(diǎn)很小,測(cè)量距離的變化對(duì)測(cè)量結(jié)果有較大影響,如果使用Au,Pd,膜厚測(cè)試儀,Ni三種箔片疊加校正,校正的時(shí)候箔片之間是有空氣,并且Pb元素與空氣的頻譜重疊,以上會(huì)對(duì)測(cè)量結(jié)果產(chǎn)生較大影響,Elite(一六儀器)測(cè)厚儀有電鍍好的整塊的Au/Pd/Ni/Base標(biāo)準(zhǔn)片,不需要幾種箔片疊加校正,可以確保鍍層測(cè)量的準(zhǔn)確性。
2、采用微聚焦X射線管,油槽式設(shè)計(jì),工作時(shí)采用油冷,長(zhǎng)期使用時(shí)壽命更長(zhǎng)。微聚焦X射線管配合比例接收能實(shí)現(xiàn)高計(jì)數(shù)率,可以進(jìn)行高精度測(cè)量。
3、Elite(一六儀器)WinFTM軟件,具有強(qiáng)大且界面友好、中英文切換,最多可同時(shí)測(cè)量23層鍍層,24種元素,測(cè)量數(shù)據(jù)可直接以WORD格式或EXCEL格式輸出、打印、保存。采用基本參數(shù)法(FP),有內(nèi)置頻譜庫,無論是鍍層系統(tǒng)還是固體和液體樣品,都能在沒有標(biāo)準(zhǔn)片的情況下進(jìn)行準(zhǔn)確的分析和測(cè)量。
4、 Elite(一六儀器)針對(duì)PCB(印制電路板)線路板上的鍍層厚度及分析而設(shè)計(jì)的X射線熒光測(cè)厚儀(XDLM-PCB200/PCB210系列)具有以下特點(diǎn):1)工作臺(tái)有手動(dòng)和程序控制供客戶選擇,2)采用開槽式設(shè)計(jì)和配置加長(zhǎng)型樣品平臺(tái),用于檢測(cè)大尺寸的線路板。








(一)、外部結(jié)構(gòu)原理圖
X熒光做鍍層分析時(shí),根據(jù)射線是至上而下照射樣品,還是至下而上照射樣品的方式,將X熒光分析儀的外部整體結(jié)構(gòu)分為:上照射和下照射兩種結(jié)構(gòu)。
(二)、各種外部結(jié)構(gòu)的特點(diǎn)
1、上照射方式
用于照射(激發(fā))的X射線是采用由上往下照射方式的設(shè)備稱為上照射儀器。此類設(shè)備的Z軸為可移動(dòng)方式,用于確定射線照射光斑的焦點(diǎn),確保測(cè)量的準(zhǔn)確性。
①、Z軸的移動(dòng)方式
根據(jù)Z軸的移動(dòng)方式,電鍍膜厚儀,分為自動(dòng)和手動(dòng)兩類;
自動(dòng)型的設(shè)備完全由程序與自動(dòng)控制裝置實(shí)現(xiàn),其光斑對(duì)焦的重現(xiàn)性與準(zhǔn)確度都很高,而且使用非常簡(jiǎn)便(一般是與圖像采集系統(tǒng)與控制系統(tǒng)相結(jié)合的方式),一般只需要用鼠標(biāo)在圖像上點(diǎn)擊一下即可定位。此類設(shè)備對(duì)于測(cè)試形狀各異的樣品非常方便,也是目前最主流的分析設(shè)備類型。
手動(dòng)型設(shè)備,一般需要用人觀察圖像的方式,測(cè)厚儀,根據(jù)參考斑點(diǎn)的位置,手動(dòng)上下調(diào)節(jié)Z軸方向,以達(dá)到準(zhǔn)確對(duì)焦的目的。因此,往往在測(cè)試對(duì)象幾何結(jié)構(gòu)基本上沒有變化的情況下使用比較快捷。②、X、Y軸水平移動(dòng)方式
水平移動(dòng)方式一般分為:無X、Y軸移動(dòng)裝置;手動(dòng)X、Y軸移動(dòng)裝置;電動(dòng)X、Y軸移動(dòng)裝置;全程控自動(dòng)X、Y軸移動(dòng)裝置。
這幾類的設(shè)備都是根據(jù)客戶實(shí)際需要而設(shè)計(jì)的,例如:使用無X、Y軸移動(dòng)裝置的也很多,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,樣品水平移動(dòng)完全靠手動(dòng)移動(dòng),五金電鍍測(cè)厚儀,這種設(shè)備適合于樣品面積較大,定位比較容易的測(cè)試對(duì)象。













(一)、內(nèi)部結(jié)構(gòu)
X熒光光譜測(cè)厚儀機(jī)型很多,但是其內(nèi)部結(jié)構(gòu)如果先天不足,后期的外部結(jié)構(gòu)無論自動(dòng)化多高,也無法完全滿足客戶需求。內(nèi)部結(jié)構(gòu)重要的3點(diǎn):
1、X熒光發(fā)射和CCD觀測(cè)是否同步和垂直?
2、測(cè)試樣品是否可以變化測(cè)頭到樣品的距離?
3、X光照射面積從出口到樣品的擴(kuò)散情況。
(二)、各種內(nèi)部結(jié)構(gòu)的優(yōu)缺點(diǎn)
1、X熒光發(fā)射和CCD觀測(cè)樣品只有同步且垂直才不會(huì)因?yàn)闃悠返母叩蜕顪\變化而改變測(cè)試到樣品的位置,才能保證定位精準(zhǔn),同時(shí)減少與探測(cè)器或計(jì)數(shù)器的夾角,夾角小測(cè)試時(shí)
受樣品曲面或者傾斜影響小。
2、測(cè)試樣品距離可變化才能測(cè)試高低不平帶凹槽的樣品工件,同時(shí)也兼顧好平面樣品的測(cè)試。但是它需要配備變焦鏡頭和變焦
補(bǔ)償射線的算法。
3、X光照射面積從出口到樣品的擴(kuò)散過于嚴(yán)重會(huì)導(dǎo)致無法測(cè)試樣品工件上較小的平面位置,如果減小出口(準(zhǔn)直器直徑),又會(huì)嚴(yán)重耗損X光的強(qiáng)度。
因此一臺(tái)此類儀器的小準(zhǔn)直器不是關(guān)鍵,但是測(cè)試面積卻是個(gè)最重要的指標(biāo)。




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