cvd化學(xué)氣相沉積設(shè)備-拉奇納米-化學(xué)氣相沉積設(shè)備

冷水機(jī)能控制真空鍍膜機(jī)的溫度，以保證鍍件的高質(zhì)量。如果不配置冷水機(jī)就不能使真空鍍膜機(jī)達(dá)到高精度、率控制溫度的目的，因?yàn)樽匀凰退岫疾豢杀苊獾厥艿阶匀粴鉁氐挠绊懀掖朔绞娇刂剖菢O不穩(wěn)定的。

專業(yè)從事各種真空鍍膜設(shè)備制造，致力于研發(fā)和生產(chǎn)真空鍍膜機(jī)，為客戶提供定制化的真空鍍膜工藝解決方案和鍍膜設(shè)備，產(chǎn)品通過(guò)多個(gè)國(guó)內(nèi)外認(rèn)證，已出口幾十個(gè)國(guó)家，深受國(guó)內(nèi)外用戶好評(píng)，歡迎廣大顧客來(lái)電咨詢

玻璃鍍膜設(shè)備是利用真空磁控濺射方式在浮法玻璃表面進(jìn)行鍍膜的專業(yè)設(shè)備，鍍膜艙室真空度為1.0E-6mbar的高真空，生產(chǎn)線采用真空磁控濺射方式在玻璃表面進(jìn)行鍍膜，保持高真空環(huán)境是玻璃鍍膜設(shè)備的基本條件。

玻璃鍍膜設(shè)備由真空腔室、鍍膜腔室、狹縫閥、工藝介質(zhì)平臺(tái)、狹縫閥、傳動(dòng)系統(tǒng)、液壓設(shè)備、冷卻系統(tǒng)、放氣系統(tǒng)、壓縮空氣系統(tǒng)、冷卻水系統(tǒng)等組成，等離子化學(xué)氣相沉積設(shè)備，采用電氣程序全自動(dòng)控制。

玻璃基片通過(guò)傳動(dòng)輥道實(shí)現(xiàn)水平直線傳輸，依次經(jīng)過(guò)鎖室、緩沖室、過(guò)渡室進(jìn)入工藝腔室，鍍膜工藝完成后，經(jīng)過(guò)渡室、緩沖室、鎖室傳出。傳動(dòng)輥道間通過(guò)同步齒形皮帶聯(lián)動(dòng)，化學(xué)氣相沉積設(shè)備，傳動(dòng)輥道由減速機(jī)通過(guò)施密特聯(lián)軸器、剛性聯(lián)軸器等與輥道相連。真空系統(tǒng)主要通過(guò)各種真空泵來(lái)實(shí)現(xiàn)，在生產(chǎn)線各個(gè)關(guān)鍵位置均安裝各級(jí)真空規(guī)測(cè)量真空度。

如果真空鍍膜設(shè)備持續(xù)不斷的使用了6個(gè)月以上，真空鍍膜設(shè)備的抽速就會(huì)有明顯的變慢，那怎樣去維護(hù)呢？本文主要講訴了對(duì)真空鍍膜設(shè)備長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行后的要點(diǎn)。

首先，必須要沖入大氣，拆去連接水管，將一級(jí)噴嘴擰出來(lái)，再用將泵腔以及泵膽清洗一下，再使用洗衣粉兌清水再清洗一次，待水份揮發(fā)干后，裝好泵膽，金屬化學(xué)氣相沉積設(shè)備，重新加入新擴(kuò)散的泵油并裝回機(jī)體重新開(kāi)機(jī)。真鍍膜設(shè)備在重新開(kāi)機(jī)時(shí)要特別注意撿漏工作，先觀察擴(kuò)散泵部分是否達(dá)到6*10PA，否則需要進(jìn)行檢漏。檢查連接處是否密封，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后才可以加熱，否則擴(kuò)散泵油會(huì)燒壞導(dǎo)致無(wú)法進(jìn)入到工作狀態(tài)。