電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備哪家好-沈陽鵬程

電子束操作及注意事項(xiàng)

①電子槍工作前必須檢查水流是否正常，工作過程中務(wù)必保證水壓、水流量指示，否則將造成坩堝損壞。?

②電子槍起動(dòng)真空度6.7×10-3Pa。?

③蒸發(fā)前電子槍的陰極燈絲應(yīng)預(yù)熱，預(yù)熱電流為0.6A，預(yù)熱時(shí)間新陰極5分鐘以上（應(yīng)緩慢調(diào)至0.6A，DZS800型電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備哪家好，以防陰極變形），舊陰極2分鐘即可。?

④蒸發(fā)前對(duì)材料先預(yù)熱除氣。?

⑤蒸發(fā)完后，按下列順序關(guān)閉高壓電源：關(guān)蒸發(fā)檔板→關(guān)閉高壓→燈絲電源調(diào)至預(yù)熱0.6A的位置→關(guān)閉束流調(diào)節(jié)電源并調(diào)至低位置→關(guān)閉磁場(chǎng)電源，工作時(shí)操作順序與此順序相反。?

⑥電子槍燈絲停止加熱后，要停留10分鐘以上才能向蒸發(fā)室放氣

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電子束鍍膜的濺射方式

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濺射方式是用高速正離子轟擊靶材表面，通過動(dòng)能傳輸，令靶材的分子（原子）有足夠的能量從靶材表面逸出，在產(chǎn)品表面凝聚形成薄膜。

用濺射的方法制鍍的薄膜附著性強(qiáng)，電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備哪家好，薄膜的純度高，可以同時(shí)濺射多種不同成分的材料，但是對(duì)靶材的要求高，不能象電子槍一樣節(jié)約資源。

目前運(yùn)用較多的有磁控濺射，磁控濺射是指平行于陰極表面施加強(qiáng)電場(chǎng)，雙槍電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備哪家好，將電子約束在陰極靶材表面附近，提高電離效率。它是操作比較簡(jiǎn)單的一種，所以運(yùn)用非常廣。

電子束鍍膜機(jī)電源柜的操作

1. 總電源

2. 同時(shí)開電子槍控制Ⅰ和電子槍控制Ⅱ電源：按電子槍控制Ⅰ電源、延遲開關(guān)、電源及保護(hù)燈亮，三分鐘后延遲 及保護(hù)燈滅，若后門未關(guān)好或水流繼電器有故障，保護(hù)燈會(huì)常亮。

3. 開高壓，高壓會(huì)達(dá)到10KV以上，調(diào)節(jié)束流可到200mA左右，簾柵為20V/100mA，DZS800型電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備哪家好，燈絲電流1.2A，偏轉(zhuǎn)電流在1~1.7之間擺動(dòng)。

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