念龍化工(在線咨詢)-實驗室氣路安裝

(1)氮氣置換過程中需密閉操作。提供良好的自然通風(fēng)條件。

(2)操作人員必須經(jīng)過專業(yè)培訓(xùn)，嚴格遵守操作規(guī)程。防止氣體泄漏到工作場所空氣中?，F(xiàn)場配備泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。

(3)一旦氮氣大面積泄漏，人員應(yīng)迅速撤離泄漏污染區(qū)至上風(fēng)處，并進行隔離，實驗室氣路安裝公司，嚴格限制出入

(4)應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿一般作業(yè)工作服。盡可能切斷泄漏源。合理通風(fēng)，加速擴散。漏氣源要妥善處理，修復(fù)、檢驗后再重新置換。

(5)人員吸入氮氣應(yīng)迅速脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給輸氧呼吸心跳停止時，立即進行人工呼吸和胸外心臟按壓術(shù)。就醫(yī)。

（1）性氣體

把自燃、、可燃氣體等都定義為這類氣體。如常溫下的SiH4氣體只要與空氣接觸就會燃燒，實驗室氣路安裝，當(dāng)環(huán)境溫度達到一定時，PH3與B2 H6等氣體也會產(chǎn)生自燃?？扇細怏w都有一定的著火燃燒范圍，即上限、下限值。此范圍越大的氣體起燃燒危險性就越高，如B 2H6的上限為98%，下限為0.9%。屬于氣體有H 2，實驗室氣路改造設(shè)計安裝，NH3，PH3，DCS，ClF3 。

（2）毒性氣體（Toxic Gas）：半導(dǎo)體制造行業(yè)中使用的氣體很多都是對人體有害、有毒的。其中又以AsH3， B 2H6，PH3等氣體的毒性***大，它們的閾限值TLV（Threshold Limited Valve）分別只有50×10-9，100×10 -9，300×10-9。這些氣體在工作環(huán)境中的允許濃度極微，因此在貯存、輸送以及使用的過程中都要求特別的小心。一般都應(yīng)該采取特定的技術(shù)措施來控制使用這些氣體。NO， C4F6，C5F8 ，NF3，CH 3F等都屬于毒性氣體。

（3）腐蝕性氣體（Corrosive Gas）：這些腐蝕性氣體通常同時也兼有較強的毒性。腐蝕性氣體在干燥狀態(tài)下一般不易侵蝕金屬，但在遇到水的環(huán)境下就顯示出很強的腐蝕性，如HCl， HF， PCl3， SiF4，ClF3，WF6等。

（4）惰性氣體(Inert Gas)： 隋性氣體本身一般不會直接對人體產(chǎn)生傷害，在氣體傳輸過程中，相對于安全上的要求不如以上其他氣體嚴格。但惰性氣體具有窒息特性，在密閉空間若發(fā)生泄漏會使人窒息而造成事故。屬于這類的氣體有C2 F6，CF4，SF6，CHF 3等。

（5）氧化性氣體（Oxide Gas）：這類氣體有較強的氧化性，一般同時具有其他特性，如毒性或腐蝕性等。屬于這類的氣體有ClF3 ，Cl2，NF3等。

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