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如果把在硅晶體上的施工比成木匠活的話,光刻機(jī)的作用相當(dāng)于木匠在木料上用墨斗劃線,刻蝕機(jī)的作用相當(dāng)于木匠在木料上用鋸子、鑿子、斧子、刨子等施工。
光刻機(jī)用來(lái)成像,蝕刻機(jī)用來(lái)成形。他們是前后兩道工序。和做電路板有點(diǎn)類似。 光刻機(jī)精度高,刻蝕機(jī)精度低。
中國(guó)半導(dǎo)體實(shí)現(xiàn)新突破:成功進(jìn)軍首條5nm芯片制程生產(chǎn)線
另外,除了光刻機(jī),蝕刻機(jī)也是半導(dǎo)體工藝中不可缺少的一步。據(jù)了解,光刻機(jī)、蝕刻機(jī)和MOCVD等設(shè)備,一并被稱為半導(dǎo)體工藝三大關(guān)鍵設(shè)備??涛g機(jī)作為芯片制造中的一種關(guān)鍵設(shè)備,用來(lái)在芯片上進(jìn)行微觀雕刻,一定程度上決定了芯片制造的較高水平。然而,鮮為人知的是,我國(guó)國(guó)產(chǎn)刻蝕機(jī)水平早已優(yōu)先。

1.確認(rèn)萬(wàn)用表工作正常,LED曝光機(jī)廠商,量程置于200mV。
2.冷探針連接電壓表的正電極,熱探針與電壓表的負(fù)極相連。
3.用冷、熱探針接觸硅片一個(gè)邊沿不相連的兩個(gè)點(diǎn),電壓表顯示這兩點(diǎn)間的電壓為正值,LED曝光機(jī),說(shuō)明導(dǎo)電類型為P型,刻蝕合格。相同的方法檢測(cè)另外三個(gè)邊沿的導(dǎo)電類型是否為P型。
4.如果經(jīng)過(guò)檢驗(yàn),LED曝光機(jī)價(jià)格,任何一個(gè)邊沿沒(méi)有刻蝕合格,則這一批硅片需要重新裝片,進(jìn)行刻蝕。

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