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離子束刻蝕機(jī)
表面拋光
離子束能完成機(jī)械加工中的后一道工序一-精拋光,以機(jī)械加工所產(chǎn)生的刻痕和表面應(yīng)力。加工時(shí)只要嚴(yán)格選擇濺射參數(shù)(入射離子能量、離子質(zhì)量、離子入射角、樣品表面溫度等),光學(xué)零件就可以獲得較佳的表面質(zhì)量,且散射光較小。離子束拋光激光棒和光學(xué)元件的表面,表面可以達(dá)到較高的均勻和一致性,江西聚焦離子束刻蝕機(jī),而且元件本身在工藝過程中也不會(huì)被污染。
刻蝕過程
普通的刻蝕過程大致如下:先在表面涂敷一層光致抗蝕劑,然后透過掩模對(duì)抗蝕劑層進(jìn)行選擇性曝光,由于抗蝕劑層的已曝光部分和未曝光部分在顯影液中溶解速度不同,經(jīng)過顯影后在襯底表面留下了抗蝕劑圖形,以此為掩模就可對(duì)襯底表面進(jìn)行選擇性腐蝕。如果襯底表面存在介質(zhì)或金屬層,則選擇腐蝕以后,聚焦離子束刻蝕機(jī)廠家,圖形就轉(zhuǎn)移到介質(zhì)或金屬層上。
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離子束刻蝕機(jī)
離子束刻蝕機(jī)由真空室、工作臺(tái)、快門、真空抽氣系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、電源和 電器系統(tǒng)等主要部分組成,圖1-1所示為離子束刻蝕機(jī)的工作原理圖。該機(jī)在正常工作 時(shí),首先將真空室的壓力抽至2×10-3Pa或更低,再調(diào)節(jié)Ar氣流量,使真空室壓力保持 在1×10-2~2×10-2Pa(如需要輔助氣體,如O2、CH2等,聚焦離子束刻蝕機(jī)生產(chǎn)廠家,則可按一定比例與之混合), 然后啟動(dòng)離子源各電源,聚焦離子束刻蝕機(jī)品牌,使離子源正常工作,從離子源引出一定能量和密度的離子束 被中和器發(fā)射的電子中和后,轟擊工件進(jìn)行濺射刻蝕。



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